[发明专利]一种用于冷却微电子芯片的气凝胶电渗泵有效
| 申请号： | 201610841253.0 | 申请日： | 2016-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN106328615B | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 左雨欣;于影;左春柽;何俸华;曹倩倩 | 申请（专利权）人： | 嘉兴学院 |
| 主分类号： | H01L23/473 | 分类号： | H01L23/473 |
| 代理公司： | 北京翔瓯知识产权代理有限公司 11480 | 代理人： | 刘文君 |
| 地址： | 314001 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 冷却 微电子 芯片 凝胶 电渗泵 | ||
【说明书】：
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