[发明专利]晶圆盒清洗装置

说明书

技术领域

本发明涉及晶圆领域，特别是涉及一种晶圆盒清洗装置。

背景技术

晶圆在制程中需要经过多次运送，目前用于运送晶圆的晶圆盒称为前开式晶圆传送盒(Front Opening Unified Pod；FOUP，或称为前开口一体盒)，前开式晶圆传送盒主要用于运送及储存若干片晶圆的一种容器。

前开式晶圆传送盒主要包括一本体以及一盖体，而前开式晶圆传送盒在使用一段时间后需要清洗，更明确地说，用于清洗前开式晶圆传送盒的装置需要分别将本体及盖体进行清洗，然而现有用于清洗前开式晶圆传送盒的装置不能方便地将本体及盖体分离，使得清洗前开式晶圆传送盒的效率受到影响。

因此需要针对现有技术中不能方便地将前开式晶圆传送盒之本体及盖体分离的问题提出解决方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种晶圆盒清洗装置，其能解决现有技术中不能方便地将前开式晶圆传送盒之本体及盖体分离的问题。

本发明之晶圆盒清洗装置用于清洗一晶圆盒，该晶圆盒包括一本体以及一盖体，该晶圆盒清洗装置包括一基座以及一上盖部。该晶圆盒固定于该基座上。该上盖部设置于该基座上方之侧边，该基座以及该上盖部共同形成一腔体，该腔体用于容纳该晶圆盒，该上盖部用于分离该本体以及该盖体。

在一较佳实施例中，该上盖部用于吸附该盖体来分离该本体以及该盖体。

在一较佳实施例中，该基座包括一固定部，该固定部设置于该基座上方之侧边。

在一较佳实施例中，该上盖部包括一枢转部，该枢转部设置于该上盖部之周围，该枢转部枢转地连接至该固定部。

在一较佳实施例中，该基座包括一底部，该晶圆盒固定于该底部。

在一较佳实施例中，该上盖部包括一吸附部，该吸附部包括至少一吸盘，该至少一吸盘用于吸附该晶圆盒。

本发明之晶圆盒清洗装置能方便地将晶圆盒之本体以及盖体分离，藉此增进清洗晶圆盒之效率。

为让本发明的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下：

附图说明

图1显示根据本发明一实施例之晶圆盒清洗装置容纳一晶圆盒之立体图。

图2显示该晶圆盒清洗装置及该晶圆盒之分解图。

具体实施方式

请参阅图1至图2，图1显示根据本发明一实施例之晶圆盒清洗装置1容纳一晶圆盒30之立体图，图2显示该晶圆盒清洗装置1及该晶圆盒30之分解图。

该晶圆盒清洗装置1用于清洗该晶圆盒30。该晶圆盒30可以但不限于为一前开式晶圆传送盒，该晶圆盒30主要包括一本体300以及一盖体302。该本体300以及该盖体302共同形成一容置空间以容纳若干片晶圆。当该晶圆盒30需要清洗时，该晶圆盒30内之容置空间将不会容纳晶圆，一自动运送装置(例如一机械手臂)将该晶圆盒30放入该晶圆盒清洗装置1中并等待后续之作动(将于稍后详述)。

该晶圆盒清洗装置1包括一基座10以及一上盖部12。该基座10以及该上盖部12共同形成一腔体14。该腔体14用于容纳该晶圆盒30。该晶圆盒30固定于该基座10上。

于本实施例中，该基座10大致呈一圆柱状，该圆柱状之侧边邻接一矩形之空间，然而本发明之基座10可以为其他适当之形状，并不限于如图1所示之形状。

该上盖部12设置于该基座10上方之侧边且相对于该基座10可进行打开或关闭之作动。由于该上盖部12相对于该基座10可进行打开或关闭之作动，因此该上盖部12之形状对应于该基座10之形状。该上盖部12用于通过吸附该盖体302来分离该本体300以及该盖体302。

于本实施例中，该基座10包括一固定部100，该固定部100设置于该基座10上方之侧边，该上盖部12包括一枢转部120，该枢转部120设置于该上盖部12之周围，该枢转部120枢转地连接至该固定部100，该上盖部12可以通过该枢转部120达到相对于该基座10进行打开或关闭之作动。

该基座10进一步包括一底部102，该底部102设置于该腔体14之下方，该晶圆盒30固定于该底部102。

该上盖部12进一步包括一吸附部122，该吸附部122设置于该上盖部12的内部，该吸附部122包括至少一吸盘1220，该至少一吸盘1220用于吸附该晶圆盒30之该盖体302，以使该本体300以及该盖体302达到分离之效果，并藉此增进清洗该晶圆盒30之效率。