[发明专利]物理量传感器以及物理量传感器的制造方法

说明书

本发明提供一种能够良好地防止或减少可动体与基板的粘附的物理量传感器及其制造方法，此外，提供一种具备所述物理量传感器的传感器装置、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具备：底基板(2)；可动部(42)，其以与底基板(2)对置并能够相对于底基板(2)而进行位移的方式被设置；第一固定电极(51)以及第二固定电极(52)，其以与可动部(42)对置的方式被配置在底基板(2)上；多个突起部(6)，其被配置在底基板(2)的可动部(42)侧且被配置于在俯视观察时与可动部(42)重叠的位置处，突起部(6)具有导体层和绝缘层，所述导体层与第一固定电极(51)以及第二固定电极位(52)为相同电位，所述绝缘层相对于导体层而被设置在与底基板(2)相反的一侧。

技术领域

本发明涉及一种物理量传感器、物理量传感器的制造方法、传感器装置、电子设备以及移动体。

背景技术

作为对加速度、角速度等物理量进行检测的物理量传感器，已知一种设置有与基板对置并能够相对于该基板进行位移的可动体的结构的传感器(例如，参照专利文献1)。例如，专利文献1所述的物理量传感器包括：基板；被设置在基板的上方的摆动体；以使摆动体能够摆动的方式而对其进行支承的支承部；被设置在基板上并与摆动体对置地配置的检测电极。在这种物理量传感器中，根据摆动体与检测电极之间的静电电容而对加速度进行检测。

此外，在专利文献1所述的物理量传感器中，在摆动体的与摆动中心轴交叉的方向上的两端的侧面上设置有突起部。由此，能够抑制摆动体的过度的位移。

在上述的专利文献1所述的物理量传感器中，由于突起部与基板的从检测电极露出的部分接触，因此存在容易产生摆动体与基板发生粘附的问题。此外，由于突起部与摆动体一体地被构成，因此存在突起部与基板相接触时容易发生损坏的问题。

专利文献1:日本特开2013-156121号公报

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能够良好地防止或减少可动体与基板的粘附的物理量传感器及其制造方法，此外，提供一种具备所述物理量传感器的传感器装置、电子设备以及移动体。

这种目的通过下述的本发明来达成。

本发明的物理量传感器的特征在于，具备：基板；可动体，其以与所述基板对置并能够相对于所述基板而位移的方式被设置；电极，其以与所述可动体对置的方式被配置在所述基板上；突起部，其被配置在所述基板的所述可动体侧且被配置于在俯视观察时与所述可动体重叠的位置处，所述突起部具有导体层和绝缘层，所述导体层与所述电极为相同电位，所述绝缘层相对于所述导体层而被设置在与所述基板相反的一侧。

根据这种物理量传感器，由于突起部被配置在基板的可动体侧且被配置于在俯视观察时与可动体重叠的位置处，因此能够通过突起部而防止或减少可动体与基板发生粘附的情况。在此，由于突起部并没有被设置在可动体侧而是被设置在基板侧，因此能够提高突起部的韧性，从而减少突起部的损坏。此外，由于突起部的导体层与电极为相同电位，因此在物理量传感器的制造时，例如在对基板与其他的基板进行阳极接合时，通过对可动体与电极进行电连接，从而能够防止或减少可动体与基板的粘附。

此外，由于突起部的绝缘层相对于导体层而被设置在突起部的顶端侧，因此即使可动体与突起部接触，也能够防止可动体与电极的短路。

并且，通过突起部来限制可动体的过度的位移，从而能够防止或减少可动体的损坏等。

在本发明的物理量传感器中，优选为，所述突起部被配置于在所述俯视观察时与所述电极重叠的位置处，所述导体层与所述电极一体地被构成。

由此，能够使突起部的导体层与电极一并形成。因此，能够减少随着突起部的形成而导致的物理量传感器的制造工序的复杂化。

在本发明的物理量传感器中，优选为，所述突起部具有凸部，所述凸部相对于所述导体层而在所述基板侧与所述基板一体地被构成。