[发明专利]压电驱动装置及其制造方法、马达、机器人以及泵

权利要求书

1.一种压电驱动装置，其特征在于，包含：

基板；

压电元件，其具有设置于所述基板上的第一电极、设置于所述第一电极上的压电体层、以及设置于所述第一压电体层上的第二电极；

在俯视面中沿所述基板的外周设置且与所述第一电极电连接的含铜的层；以及

以覆盖所述含铜的层的方式设置的含镍和磷的导电层。

2.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述导电层具有：

含镍和磷的层；以及

以覆盖所述含镍和磷的层的方式设置的金层。

3.根据权利要求2所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述导电层具有设置在含镍和磷的层与金层之间的钯层。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述导电层是无电镀层。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述基板具有第一面和与所述第一面相反侧的第二面，

在所述第一面设置所述压电元件，

在所述第二面设置金属层，

所述金属层与所述导电层连接。

6.根据权利要求5所述的压电驱动装置，其特征在于，

包含第一压电振动体和与所述第一压电振动体接合的第二压电振动体，

所述第一压电振动体以及所述第二压电振动体包含所述基板、所述压电元件以及所述含铜的层，

所述第一压电振动体的所述含铜的层与所述第二压电振动体的所述含铜的层接合。

7.根据权利要求6所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述第一压电振动体以及所述第二压电振动体构成接合体，

所述接合体包含所述金属层，

在所述基板的厚度方向上层叠多个所述接合体，

在相邻的所述接合体中，一方的所述接合体的所述金属层与另一方的所述接合体的所述金属层接合。

8.一种压电驱动装置的制造方法，其特征在于，包含：

在基板上形成第一电极的工序；

在所述第一电极上形成压电体层的工序；

在所述压电体层上形成第二电极的工序；

以在俯视面中沿所述基板的外周的方式形成与所述第一电极电连接的含铜的层的工序；以及

以覆盖所述含铜的层的方式形成无电镀层的工序。

9.一种压电驱动装置，其特征在于，包含：

第一压电振动体，其具有第一基板、设置于所述第一基板的第一面的第一压电元件、与所述第一压电元件电连接的第一布线层；

第二压电振动体，其具有第二基板、设置于所述第二基板的第一面的第二压电元件、与所述第二压电元件电连接的第二布线层；以及

将所述第一布线层及所述第二布线层与外部布线电连接的端子，

以所述第一基板的第一面与所述第二基板的第一面对置的方式接合所述第一压电振动体与所述第二压电振动体，

所述端子被设置成与所述第一布线层的侧面以及所述第二布线层的侧面连接且比所述第一基板的侧面以及所述第二基板的侧面向外侧突出。

10.根据权利要求9所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述端子是无电镀层。

11.根据权利要求9或10所述的压电驱动装置，其特征在于，包含：

设置在所述第一基板与所述第一布线层之间的第一绝缘部、和

设置在所述第二基板与所述第二布线层之间的第二绝缘部，

所述端子与所述第一绝缘部的侧面以及所述第二绝缘部的侧面连接。

12.根据权利要求9～11中任一项所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述端子与所述第一基板以及所述第二基板分离设置。