[发明专利]压电薄膜、压电薄膜元件、压电致动器、压电传感器、硬盘驱动器以及喷墨打印头

权利要求书

1.一种压电薄膜，其特征在于：

在将(K,Na)NbO₃作为主成分的压电薄膜中，在规定范围的观察视野内观察所述压电薄膜的表面的情况下，在所述压电薄膜的表面上排列有沿着该表面朝向第1方向具有细长形状的多个第1结晶、沿着所述表面朝向与所述第1方向相交叉的第2方向具有细长形状的多个第2结晶，

所述第1结晶的长边长度的平均值和所述第2结晶的长边长度的平均值均为2μm以下。

2.如权利要求1所述的压电薄膜，其特征在于：

表示所述第1结晶的长边长度相对于短边长度的比的第1长径比的平均值为2以上，表示所述第2结晶的长边长度相对于短边长度的比的第2长径比的平均值为2以上。

3.如权利要求2所述的压电薄膜，其特征在于：

所述第1长径比的平均值和第2长径比的平均值均为2以上且15以下。

4.如权利要求1～3中任意一项所述的压电薄膜，其特征在于：

在规定范围的观察视野内观察所述压电薄膜的表面的情况下，所述第1结晶以及第2结晶所占的总面积比为70％以上。

5.如权利要求1～3中任意一项所述的压电薄膜，其特征在于：

在规定范围的观察视野内观察所述压电薄膜的表面的情况下，所述第1结晶的数量α和第2结晶的数量β中的α的比例α/(α+β)为0.3以上且0.7以下。

6.如权利要求1～3中任意一项所述的压电薄膜，其特征在于：

在所述压电薄膜中进一步包含Ta、Mn、Zr中的至少一者。

7.一种压电薄膜元件，其特征在于：

包含权利要求1～6中任意一项所述的压电薄膜和夹住该压电薄膜的一对电极层。

8.一种压电致动器，其特征在于：

使用了权利要求7所述的压电薄膜元件。

9.一种压电传感器，其特征在于：

使用了权利要求7所述的压电薄膜元件。

10.一种喷墨打印头，其特征在于：

具备权利要求8所述的压电致动器。

11.一种硬盘驱动器，其特征在于：

具备权利要求8所述的压电致动器。