[发明专利]基于数字微镜的大动态激光远场焦斑测量系统及测量方法有效
申请号: | 201610854324.0 | 申请日: | 2016-09-27 |
公开(公告)号: | CN106248353B | 公开(公告)日: | 2019-08-06 |
发明(设计)人: | 袁索超;李红光;达争尚 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 陈广民 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 数字 动态 激光 远场焦斑 测量 系统 测量方法 | ||
【说明书】:
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