[发明专利]一种表面缺陷检测系统及方法

说明书

本发明是关于一种表面缺陷检测系统及方法，包括彩色成像装置和至少两个光源，其中，所述光源分别设置在检测目标各个检测区域所对应的位置，以相应的入射角度，照射对应的检测区域；所述光源的波长不相同，所述光源的入射角度不相同；彩色成像装置接收各个光源在对应检测区域的反射光，以根据不同波长的反射光对检测目标成像。通过设置不同波长、不同入射角度的光源，彩色成像装置能够同时获得检测目标所有检测区域的图像，从而同时对多个检测区域进行表面缺陷检测，通过一次成像和一套系统即可完成表面缺陷检测，有效提高表面缺陷检测效率，降低成本；而且，根据表面缺陷所在的光谱区域，进一步确定表面缺陷位置，方便表面缺陷的统计分析。

技术领域

本发明涉及光学成像技术领域，尤其涉及一种表面缺陷检测系统及方法。

背景技术

在对检测目标的表面进行缺陷检测时，检测目标的表面可能不是平整表面。通常检测目标的表面是斜坡、凸起、凹坑以及平面的集合，例如在检测目标的一个检测区域是平面、另一个检测区域是斜坡。

为了进行表面缺陷检测，通常使用如图1所示的表面缺陷检测系统，该系统使用同轴光对检测物03的表面进行缺陷检测，包括成像装置01和同轴光源02。其中，所述成像装置01设置在检测物03的上方；所述同轴光源02包括由光源发光面板021和半反半透镜022。在检测过程中，光源发光面板021发出的光线经过半反半透镜022的反射，照射到检测物03的表面；检测物03的表面将照射的光线进行反射，反射后的光线经过半反半透镜022到达成像装置01，以使所述成像装置01得到检测物03的表面图像；最后通过观察所述表面图像，确定检测物03的表面是否存在缺陷。

然而，发明人通过研究发现，如图1所示的检测物03并不是平整表面，在第一检测区域031，所述检测物03是平面，在第二检测区域032，所述检测物03是斜坡。在使用上述表面缺陷检测系统对检测物03进行缺陷检测的过程中，由于斜坡具有一定的角度，同轴光源02照射到第二检测区域032上的光线，通常被向外反射而无法到达成像装置01，从而无法得到的第二检测区域032的表面图像。因此，为了得到第二检测区域032的表面图像，需要在第一检测区域031检测完毕后，通过调整成像装置01以及同轴光源02的位置，或者调整检测物03的位置，还有一种实现方式是在平行的位置再架一套成像系统，实现对检测物03全部检测区域的缺陷检测；这样，为了得到检测物表面的完整图像信息，至少需要两次成像，检测效率低，而且成本较高。

发明内容

本发明实施例中提供了一种表面缺陷检测系统及方法，以解决现有技术中的表面缺

陷检测系统效率低及成本高的问题。

为了解决上述技术问题，本发明实施例发明了如下技术方案：

第一方面，本发明实施例提供了一种表面缺陷检测系统，该系统包括彩色成像装置和至少两个光源，其中：

所述光源分别设置在检测目标各个检测区域所对应的位置，以相应的入射角度，照射对应的检测区域；

所述光源的波长不相同，所述光源的入射角度不相同；

彩色成像装置接收各个光源在对应检测区域的反射光，以根据不同波长的反射光对检测目标成像。

可选地，在平面检测区域对应位置设置第一波长的平面检测光源，所述平面检测光源的第一入射角度为锐角，其中所述第一入射角度为平面检测光源的入射光线与检测目标轴线之间的夹角。

可选地，在斜坡检测区域对应位置设置第二波长的斜坡检测光源，所述斜坡检测光源的第二入射角度为根据斜坡倾斜角确定的角度，其中所述第二入射角度为斜坡检测光源的入射光线与检测目标轴线之间的夹角。

可选地，不同斜坡倾斜角的斜坡检测区域对应斜坡检测光源的第二波长不相等，且不同斜坡倾斜角的斜坡检测区域对应斜坡检测光源的第二入射角度不相等。