[发明专利]一种引出电极的电极轴驱动装置

说明书

技术领域

本发明涉及SiC高温高能离子注入机，尤其涉及一种引出电极的电极轴驱动装置。

背景技术

SiC作为第三代半导体材料被广泛用于制作新一代高效节能的电力电子器件，涉及国民经济的各个领域。SiC高温高能离子注入机的作用就是把要掺杂元素的离子加速，使获得很大动能的杂质离子直接进入SiC晶片中的晶格，离子注入后进行退火激活。首先由送入离子源弧室的气体电离产生等离子体，引出电极将带正电荷的离子从弧室中吸引出，从而形成离子束流。当在相对于弧室为低电压的引出电极上加负高压时，等离子体中的带正电荷的离子束流就会被引出电极吸出，当加在引出电极与弧室间的高压不变，而引出电极相对于弧室的面向位置平行度改变使，吸出的带正电的离子束流在垂直传输方向会发生改变，极大地影响离子束流的传输效率。

专利文献CN 104392882A公开了一种离子注入机的引出电极驱动装置，其第一伺电机通过第一带轮组件带动少齿宽面小齿轮转动，少齿宽面小齿轮转动时通过与其啮合的多齿窄面大齿轮带动电极轴转动；第二伺服电机通过第二带轮组件带动滚珠丝杠转动，滚珠丝杠的转动转换为丝杠螺母的上下滑动，丝杠螺母通过多齿窄面大齿轮带动电极轴升降运动。由于该离子注入机的引出电极驱动装置采用两级齿轮啮合的方式带动电极轴旋转，调节精度较差，齿轮旋转一圈转动角度过大，不能实现微小角度的调节，且无法实现连续调节。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、能实现连续调节和微小角度调节的引出电极的电极轴驱动装置。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种引出电极的电极轴驱动装置，包括电机、主动带轮、从动带轮及绕设于主动带轮和从动带轮上的传动带，所述电机的输出轴与所述主动带轮的轮轴连接，还包括连续调节组件，所述连续调节组件包括凸轮、摆杆及用于使摆杆的摆动端与凸轮紧贴的弹性件，所述凸轮安装于所述从动带轮的轮轴上，所述摆杆安装于引出电极的电极轴上。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述摆杆上开设有凹槽并于凹槽内安装轴承，所述轴承的外圈与所述凸轮形成切线接触。

所述摆杆一端为环状并套设于所述电极轴上，另一端与所述弹性件连接，所述凹槽位于摆杆中段。

所述从动带轮的轮轴上装设有单圈旋转电位器。

所述电机上装设有多圈旋转电位器。

所述主动带轮的直径小于从动带轮的直径。

所述弹性件为弹簧。

所述电机为伺服电机。

与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明公开的引出电极的电极轴驱动装置，在电极轴上安装摆杆，摆杆的摆动端与凸轮紧贴，凸轮旋转时克服弹性件的弹力作用即可带动摆杆摆动，摆杆进而带动电极轴旋转，结构简单、可靠，能实现电极轴旋转角度的连续调节，调节精度高，特别适用于微小角度的调节。

附图说明

图1是本发明引出电极的电极轴驱动装置实施例一的立体结构示意图。

图2是本发明引出电极的电极轴驱动装置实施例一另一角度的立体结构示意图。

图3是本发明中的连续调节组件的结构示意图。

图4是本发明引出电极的电极轴驱动装置实施例二的立体结构示意图。

图5是本发明引出电极的电极轴驱动装置实施例二的主视结构示意图。

图中各标号表示：1、电机；2、主动带轮；3、从动带轮；4、传动带；5、连续调节组件；51、凸轮；52、摆杆；521、凹槽；53、弹性件；531、挂钩；54、轴承；6、引出电极；61、电极轴；71、单圈旋转电位器；72、多圈旋转电位器；8、安装块；9、安装座。

具体实施方式

以下将结合说明书附图和具体实施例对本发明做进一步详细说明。

实施例一