[发明专利]一种生产线设备的调度方法和装置

说明书

本申请实施例提供了一种生产线设备的调度方法，其中，生产线设备包括一个或多个功能模块，功能模块具有对应的任务序列，任务序列中包括一个或多个任务，所述的方法包括：针对各个功能模块的任务序列，分别计算各个任务序列中执行每个任务所需的等待时间；确定当前等待时间最短的任务为目标任务；执行目标任务；从任务序列中删除目标任务后，返回针对各个功能模块的任务序列，分别计算各个任务序列中执行每个任务所需的等待时间的步骤。本申请实施例将生产线设备划分成多个独立的功能模块，对于每个功能模块，永远先执行需要等待时间最短的任务，这样可保证在调度过程中，生产线设备的各个功能模块总的等待时间尽可能少，从而提高调度效率。

技术领域

本申请涉及工艺控制技术领域，特别是涉及一种生产线设备的调度方法和一种生产线设备的调度装置。

背景技术

集簇调度问题是指半导体制造行业因工艺生产需求须同时使用多个传输平台、挂载多个工艺腔室，从而导致工艺生产中硅片(wafer)的传输路径与调度方法更加复杂的一类问题。近年来，随着半导体行业制造技术的快速发展，在生产过程中对设备的产能要求也越来越高。针对不同生产工艺的生产线设备，如何设计高效可靠的调度算法，对于提高生产线设备的产能有着非常重要的意义与作用。

生产线设备调度算法作为一类比较复杂的NP组合优化问题，在实际解决的过程中并没有成熟的多项式算法及优化理论可以借鉴和引用，而只能根据具体的问题采用一些特定的优化方法进行求解。

因此，目前需要本领域技术人员迫切解决的一个技术问题就是：提供一种调度方法以用于复杂的调度需求，提高生产线设备的产能效率。

发明内容

本申请实施例所要解决的技术问题是提供一种生产线设备的调度方法，以实现对复杂调度需求的优化，提高生产线设备的产能效率。

相应的，本申请实施例还提供了一种生产线设备的调度装置，用以保证上述方法的实现及应用。

为了解决上述问题，本申请公开了一种生产线设备的调度方法，其中，所述生产线设备包括一个或多个功能模块，所述功能模块具有对应的任务序列，所述任务序列中包括一个或多个任务，所述的方法包括：

针对各个功能模块的任务序列，分别计算各个任务序列中执行每个所述任务所需的等待时间；

确定当前等待时间最短的任务为目标任务；

执行所述目标任务；

从所述任务序列中删除所述目标任务后，返回所述针对各个功能模块的任务序列，分别计算各个任务序列中执行每个所述任务所需的等待时间的步骤。

优选的，在所述从所述任务序列中删除所述目标任务的步骤后，所述的方法还包括：

在所述任务序列中增加新任务。

优选的，所述在所述任务序列中增加新任务的步骤包括：

获得新任务；

判断所述任务序列中当前已有任务的数量是否达到对应的预设数量；

若否，则在所述任务序列中增加所述新任务；

若是，则停止在所述任务序列中增加所述新任务。

优选的，所述功能模块具有对应的状态，所述状态包括：空闲状态、忙碌状态、不可用状态；

所述在所述任务序列中增加所述新任务的子步骤进一步包括：

若所述功能模块处于空闲状态，则在所述任务序列中增加所述新任务；

若所述功能模块处于忙碌状态或不可用状态时，则停止在所述任务序列中增加所述新任务。

优选的，所述等待时间通过如下方式确定：