[发明专利]位置检测装置、位置检测方法、信息处理程序及记录介质

说明书

本发明涉及位置检测装置、位置检测方法、信息处理程序及记录介质，对假设验证型的位置检测装置，提高包含异常检测值的情况下的鲁棒性，且兼得高推定精度和推定处理速度的高速化。图像处理装置(10)仅将对平面图形(I50)中心位置的计算值(点H1及H2)中的接近临时中心(PP1)的计算值作为基于多个检测点(D51～Dn)进行评价(验证)的对象。

技术领域

本发明涉及加工处理等的对象物即半导体晶圆等的位置检测装置等。

背景技术

在半导体晶圆的制造等的制造现场，对加工、检查等的对象物的定位是基本技术，作为求出该对象物的图形中心等位置等有关的参数的技术，已知有能够期待高精度推定的假设验证型拟合技术。

例如，在下述专利文献1中，作为假设验证型拟合技术，即在根据晶圆外周计算出晶圆中心位置的情况下，避免因晶圆外周位置的误识别而错误地算出晶圆中心位置的技术，公开了：

对晶圆外周的四点以上的位置坐标进行检测(四个以上的检测点的检测)，根据检测到的外周边缘的多个位置坐标值，求出三点(三个选择点)位置坐标的所有组合，并对各个组合算出中心位置(作为计算值的中心位置)的坐标，接着算出所算出的多个中心位置坐标的偏差，如果所算出的偏差在规定的阈值以内，则判断为正常地识别了边缘，由此避免因图像处理误识别而错误地算出晶圆中心位置。

专利文献1：(日本)特开2011－249572号公报(2011年12月8日公开)

但是，所述现有技术存在如下问题：在充分确保所述检测点的数量而增加了计算值(假设)的数量的情况下，验证处理所需的时间变长，相反，在减少所述检测点的数量而减少验证对象(评价对象)即计算值的数量的情况下，推定精度下降。

另外，上述的现有技术中还存在如下问题：在异常检测点存在的情况下，基于多个假设(算出的多个中心位置)的推定结果的偏差增大，处理有可能停止。另外，当要减小处理停止的概率时，不得不容许混入某种程度的偏差(精度差的推定值)，采用所有假设的平均的现有方法存在最终输出精度降低的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于，提供对测量误差及周边的噪声引起的异常检测点实现高的鲁棒性(Robustness)，且兼得高推定精度和推定处理速度的高速化的假设验证型的位置检测装置、位置检测系统、位置检测装置的控制方法及程序。

为解决上述问题，本发明一方面提供一种位置检测装置，其具备：计算部，其根据由有关二维或三维的图形的多个检测点选择的选择点的多个组合分别算出有关定义该图形的参数的计算值；提取部，其仅提取所述计算部算出的多个所述计算值中的、通过与基于所述计算部的所述计算值的计算方法不同的方法对定义所述图形的参数推定的值或与值的范围即暂定参数的关系在规定范围内的计算值；确定部，其由所述提取部所提取的计算值中确定基于所述多个检测点的评价最高的计算值作为有关定义所述图形的参数的推定值。

根据所述的构成，所述位置检测装置仅对根据所述选择点的多个组合分别算出的多个计算值中的、与所述暂定参数的关系在规定范围内的计算值进行基于所述检测点的评价(验证)。因此，所述位置检测装置通过消除精度降低了的假设的影响而能够输出可根据检测点群推定的最佳的结果，并且能够维持与对根据所述选择点的多个组合分别算出的所有的计算值进行所述评价的情况相同的高的推定精度，且与对该所有的计算值进行所述评价相比，可以使处理高速化。即，所述位置检测装置实现下述效果：实现相对于测量误差及周边的噪声引起的异常检测点的高的鲁棒性(Robustness)，且兼得高的推定精度和推定处理速度的高速化。

优选的是，所述图形为要通过自装置特定所述参数的对象物的拍摄图像及测量值中的至少一方。