[发明专利]一种谐振式液体振镜及其驱动方法

权利要求书

1.一种谐振式液体振镜，其特征是：由下透明基板(1)和上透明基板(2)及侧壁(3)构成中空腔体里封闭有不相溶的导电性或极性液体(4)和不导电的非极性液体或气体(5)；在下透明基板(1)上制作有透明平行对电极即左电极(6A)和右电极(6B)，在对电极对上依次制作有绝缘介质层(7)和疏水层(8)，导电性或极性液体(4)位于疏水层(8)上，在疏水层(8)上制作有绝缘性圆环(9)将导电性或极性液体(4)钉扎于中空腔体的中心，即平行对电极的中心对称轴线上；导电性或极性液体(4)构成的液滴在下方左电极和右电极上投影分布的面积相同；带有偏压的相位相差为180度的交流电压分别施加在平行对电极上，交流电压的频率的两倍与液滴的固有振动频率一致，使两者发生谐振，液滴达到可重复的最大的振动状态；

所述的对电极，制作在对向的侧壁上，即在相对面的两侧壁上制作有透明或不透明的左侧电极(10A)和右侧电极(10B)，在左侧电极(10A)和右侧电极(10B)上分别制作绝缘介质层和疏水层。

2.如权利要求1所述的谐振式液体振镜，其特征是：所述导电性或极性液体(4)构成的液滴尺寸为30微米～5毫米。

3.如权利要求2所述的谐振式液体振镜，其特征是：所述导电性或极性液体(4)构成的液滴尺寸为30微米～100微米。

4.如权利要求1所述的谐振式液体振镜，其特征是：所述导电性或极性液体(4)与不导电的非极性液体或气体(5)两者之间的光学折射率需相差0.1以上。

5.如权利要求4所述的谐振式液体振镜，其特征是：所述导电性或极性液体(4)是氯化钾或氯化钠的电解质溶液。

6.如权利要求4所述的谐振式液体振镜，其特征是：所述不导电的非极性液体或气体(5)是空气或硅油。

7.如权利要求1所述的谐振式液体振镜，其特征是：所述对电极还能刻蚀成包含左电极(6A)、右电极(6B)和控制电极(6C)的两个部分，控制电极(6C)的两个部分分别位于左电极(6A)与右电极(6B)轴线的两侧，形成左电极(6A)、控制电极(6C)、右电极(6B)控制电极(6C)顺序相差90度的排列。

8.一种如权利要求1所述的谐振式液体振镜的驱动方法，其特征是：在左电极(6A)与右电极(6B)或者左侧电极(10A)与右侧电极(10B)上施加带有偏压的相位相差为180度的交流电压，施加时该电压是缓慢由0增长到它的峰值电压；或在正常的带有偏压的相位相差为180度的交流电压前，增加一段斜坡波形，使得电压在ms量级或更长的时间范围内上升到偏压值，然后再施加带有偏压的相位相差为180度的交流电，保证导电性或极性液体构成的液滴不因电压的突然变化而发生移位。