[发明专利]一种对MEMS微结构进行非接触式水中激励的激波激励装置

权利要求书

1.一种对MEMS微结构进行非接触式水中激励的激波激励装置，包括基板，其特征是：在基板上两侧对称设有二个电动滑台，并在二个电动滑台之间设有水箱单元和支座，在电动滑台上分别设有手动双轴位移台，在二个手动双轴位移台的Z轴溜板上分别通过一个悬垂支架对称安装有针电极单元，针电极单元分别悬垂到水箱单元的箱体内且水平布置；

所述针电极单元包括与悬垂支架下端可拆卸连接的安装套，在安装套前端孔内插接有绝缘套，在绝缘套内设有针电极；二个针电极单元的针电极针尖相对，用于通电后放电使二个针电极之间间隙被击穿，从而产生激波；

在支座上通过一个悬垂吊架安装有微结构单元，微结构单元悬垂到水箱单元的箱体内且位于二个针电极单元的针电极上方；该微结构单元包括与悬垂吊架下端连接的固定板，在固定板的中心设有阶梯状安装孔，在安装孔内的环形阶梯面上可拆卸安装有微结构安装板，在微结构安装板上粘接MEMS微结构；

二个针电极单元的针电极分别与高压电容的两极电联接，在高压电容与一个针电极之间设有第一空气开关；所述高压电容的两极分别电联接至高压电源的正负极，并通过第二空气开关控制通断。

2.根据权利要求1所述的一种对MEMS微结构进行非接触式水中激励的激波激励装置，其特征是：所述电动滑台是由步进电机驱动丝杠丝母机构运动从而带动滑块往复滑动。

3.根据权利要求1所述的一种对MEMS微结构进行非接触式水中激励的激波激励装置，其特征是：所述水箱单元包括一个上端敞口的箱体，在箱体上与针电极单元平行的两个侧板上分别均布有多个观察孔，在每个观察孔内分别通过压板压设有光学玻璃板，用于观察二个针电极单元的相对位置。

4.根据权利要求1所述的一种对MEMS微结构进行非接触式水中激励的激波激励装置，其特征是：所述悬垂支架是由相互垂直的水平支杆和垂直支杆通过螺钉连接而成，水平支杆外端通过固定块固定在所述Z轴溜板上。

5.根据权利要求1所述的一种对MEMS微结构进行非接触式水中激励的激波激励装置，其特征是：所述绝缘套为陶瓷管并通过顶丝固定在安装套前端孔内。

6.根据权利要求1所述的一种对MEMS微结构进行非接触式水中激励的激波激励装置，其特征是：所述悬垂吊架是由立柱、支臂杆和吊杆依次连接而成，所述立柱下部插入到支座的中心孔内并通过顶丝固定。