[发明专利]一种用于MEMS微结构动态特性测试的聚焦激波激励装置有效
| 申请号： | 201610867655.8 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN106370372B | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 佘东生;杨一柳;魏泽飞;赵玉峰;刘继行 | 申请（专利权）人： | 渤海大学 |
| 主分类号： | G01M7/02 | 分类号： | G01M7/02 |
| 代理公司： | 锦州辽西专利事务所(普通合伙) 21225 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 121000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 mems 微结构 动态 特性 测试 聚焦 激波 激励 装置 | ||
【说明书】：
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