[发明专利]直线位移测量装置

说明书

提供一种直线位移测量装置，其在被不良安装时通知使用者。滑动件包括沿着主标尺在主标尺上行进的行进体、安装于对象物的滑架部和连结行进体与滑架部的连结部件。连结部件允许行进体与滑架部之间相对位移，并且连结部件对行进体朝向主标尺施力。连结部件具有连接杆，连接杆配置成经由球接头连结行进体与滑架部。滑动件还包括检测行进体与滑架部之间的超出了预定的允许范围的相对位移的未对准检测部件。未对准检测部件为配置于连接杆的附近使得连接杆的位移被限制在预定范围内的一对突片。

本申请基于2015年9月30日提交的日本专利申请No.2015-193963，并要求该日本专利申请的优先权，其全部内容通过引用合并于此。

技术领域

本发明涉及直线位移测量装置。

背景技术

为了用于各种工业机械以便精确地进行位置控制，已经使用了位移测量装置，也就是所谓的编码器(例如，JP2004-301541A)。

图1中示出了直线位移测量装置100。该直线位移测量装置100包括长形的标尺部200和设置成能够相对于标尺部200滑动的滑动件300。

直线位移测量装置100安装于例如移动台90。假设移动台90由基部91和能够相对于基部91滑动的台92构成。此时，标尺部200螺接于台92的侧端面，滑动件300螺接于基部91。在此结构的情况下，能够精确地测量台92相对于基部91的相对位移。

图2是沿着图1的线II-II截取的截面图。

标尺部200包括长形的主标尺210(参见图2)和收容主标尺210的标尺收容框体220。主标尺210主要由玻璃基板构成，并且沿测量轴线方向形成标尺的分度(graduation)。在光电装置的示例中，分度等同于衍射光栅(diffraction grating)。

标尺收容框体220中空且长，并且主要由诸如铝等的(轻)金属制成。标尺收容框体220在侧面具有沿着轴线方向的狭缝222，并且经由狭缝222连接内侧和外侧。主标尺210安装固定于标尺收容框体220的内部。然后，在待要安装固定的标尺收容框体220内钻出多个孔，利用这些孔将标尺收容框体220螺接于台92。

滑动件300设置成能够沿标尺收容框体220的长度方向相对移动，并且检测相对于主标尺210的相对移动量或相对位置。滑动件300包括行进体400、滑架部310和连结部件500。行进体400在主标尺210上沿着主标尺210行进。滑架部310设置在标尺收容框体220外，并且沿着标尺部200滑动。连结部件500使行进体400与滑架部310连结。

行进体400包括检测单元，该检测单元检测相对于主标尺210的相对位移量。连结部件500是能够吸收一定程度的角度变化的接头，并且允许行进体400与滑架部310之间的相对移位。(这里，以球接头作为示例。)

通过直线引导件等沿直线引导台92，而由例如玻璃制成的主标尺210能够具有波纹。除非在一定程度上允许行进体400与滑架部310之间的相对移位，否则行进体400会咬住主标尺210，或者行进体400会从主标尺210浮起。因此，行进体400和滑架部310通过具有一定程度自由度的接头连结。另外，通过弹簧(线弹簧(wire spring))将行进体400以保持面对主标尺210的方式压至主标尺210。

利用该配置，当台92滑动时，标尺部200和滑架部310相应地相对移位。由于通过连结部件500将滑架部310和行进体400连结在一起，所以行进体400和滑架部310相对于主标尺210相对移动。此时，检测单元检测相对于主标尺210的相对位移量，并将检测结果输出到外部。

发明内容