[发明专利]漏水检知线固定装置及其方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体集成电路制造领域，特别是涉及一种漏水检知线固定装置；本发明还涉及一种漏水检知线固定方法。

背景技术

半导体集成电路生产中大量使用纯水(DI water)、冷却水(PCW)以及液态化学品等，为了及时发现机台及管道的漏水、漏液等异常情况需要在半导体生产厂房(FAB)内布设漏水检知线，FAB内生产设备众多且面积大，一个FAB内设置的漏水检知线的总长度能够超过1万米。

现有技术中，漏水检知线一般采用固定块或线槽布设，使用现有固定方法来布设漏水检知线存在如下主要缺点：

1.容易被推车、路过的人员、推动的物品拉扯、引起断裂，造成无法报警。FAB内的推车一般用于搬送晶圆以及机台设备的所需要的部件或维修工具，推车以及工作人员众多，所以漏水检知线很容易被拉扯到，甚至引起断裂，断裂后的漏水检知线将无法工作。

2.被拉扯、触碰后容易偏离原有检测位置，造成漏水、漏液时无法被及时发现，延误处置时间，可能引发更大危害。也即使漏水检知线没有拉扯到断裂，但是，漏水检知线会被移位，移位后漏水检知线虽然能工作，但是漏水检知线所检测的位置不再是被监控的位置，当被监控的位置发生漏水时同样无法被检测。

由于漏水检知线本身布设的数量多且总长度长，而FAB内的工作人员和推车等众多，很容易发生漏水检知线被拉扯的情形，而为了使漏水检知线处于正常布线位置，需要耗费大量人力进行定期整理。

另外，需要注意的是，FAB是一个特需的应用场景，FAB的漏水检知线需要布设在地面上，经常会有人员或推车等通过，这和普通线缆通常布设在人员物品通常不会碰到的地方(比如墙面、线槽等)是不同的。故如果避免漏水检知线被拉扯后不发生断裂或移位是一个比较重要和复杂的问题，现有方法为了使漏水检知线处于正常布线位置，需要耗费大量人力进行定期整理；但是即使耗费大量人力进行定期整理，在定期整理间隔内漏水检知线随时有可能被拉扯，从而使得不能实现对漏水检测位置的实时监测。而FAB中的半导体设备昂贵，且有众多有毒有害的化学物品，且形成有集成电路的晶圆产品也价格昂贵，一旦发生漏水事故而没有被检测到，将会造成重大损失。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种漏水检知线固定装置，能防止漏水检知线被扯断，能漏水检知线在被拉扯后自动回复到原有检测位置。为此，本发明还提供一种漏水检知线固定方法。

为解决上述技术问题，本发明提供的漏水检知线固定装置包括：

固定底座，用于固定于漏水检测位置。

活动固定块，通过弹性装置和所述固定底座连接，所述活动固定块上设置有线缆布置装置，所述线缆布置装置供漏水检知线布置。

漏水检知线固定装置包括正常状态和分离状态。

所述漏水检知线未受外力时处于正常状态，所述弹性装置使所述活动固定块回复到所述固定底座上，所述漏水检知线实现对所述固定底座设置位置处的漏水检测。

所述漏水检知线受到外力拉扯时处于分离状态，所述活动固定块脱离所述固定底座，所述弹性装置进行拉长从而吸收所述漏水检知线受到的外力，防止所述漏水检知线被断裂。

进一步的改进是，所述固定底座通过双面胶粘贴并固定在漏水检测位置。

进一步的改进是，所述固定底座的顶部呈中间内凹弧形，所述活动固定块的底部呈中间外凸弧形，在正常状态时所述活动固定块的中间外凸弧形位于所述固定底座的中间内凹弧形内并相匹配。

进一步的改进是，所述弹性装置为自动回弹绕线装置，所述弹性装置固定在所述固定底座上，所述活动固定块的底部和一连接线的第一端相连，所述连接线的第二端连接所述自动回弹绕线装置的绕线。

进一步的改进是，所述连接线为尼龙线。

进一步的改进是，所述线缆布置装置包括十字固定槽，所述漏水检知线的布置方式有两种，第一种布置方式为所述漏水检知线穿过所述十字固定槽中的一整条直线槽；第二种布置方式为所述漏水检知线从所述十字固定槽中的一个直线槽穿入并在中点时进行直角转弯从另一个直线槽穿出。

进一步的改进是，所述线缆布置装置还包括一盖板，所述盖板在所述漏水检知线的布置完成后覆盖在所述十字固定槽上。

进一步的改进是，所述固定底座带有磁性，通过磁性使所述活动固定块回复到所述固定底座上时对所述活动固定块进行位置和方向调整。

进一步的改进是，漏水检知线固定装置设置在半导体生产厂房，所述漏水检测位置位于所述半导体生产厂房的地面，所述漏水检知线穿过多个漏水检知线固定装置。