[发明专利]一种拉晶炉

权利要求书

1.一种拉晶炉，包括：

一坩埚，所述坩埚用于装纳熔融硅料；

一籽晶夹头，所述籽晶夹头用于夹持用来生长晶棒的籽晶，所述籽晶夹头可于所述坩埚的上方上下移动；

一热屏，所述热屏位于所述坩埚上方并具有一开口，在长晶工艺过程中所述籽晶向下移动并经由所述开口与所述坩埚中的熔融硅料接触，以及所形成的晶棒经由所述开口拉出；

其特征在于，所述籽晶夹头在垂直于其移动方向上的最大截面尺寸为所形成的晶棒于同一方向上的最大截面尺寸的0.8～1.2倍。

2.如权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，所述籽晶夹头包括一第一部件以及一可拆卸连接于所述第一部件上的第二部件，所述第一部件和第二部件共同限制一用于夹持所述籽晶的夹持空间。

3.如权利要求2所述的拉晶炉，其特征在于，所述第一部件和第二部件以沿着所述籽晶夹头的移动方向连接，所述第二部件连接于所述第一部件的下方。

4.如权利要求3所述的拉晶炉，其特征在于，所述第二部件上具有一贯穿所述第二部件的通孔，所述籽晶通过所述通孔延伸出。

5.如权利要求4所述的拉晶炉，其特征在于，所述第二部件靠近所述第一部件的一侧上还具有一凹槽，所述凹槽与所述通孔连通，所述第一部件靠近所述第二部件的端面和所述第二部件上的凹槽以及通孔组合形成所述夹持空间。

6.如权利要求4所述的拉晶炉，其特征在于，所述第一部件靠近所述第二部件的一侧上具有一凹槽，所述凹槽和所述通孔组合形成所述夹持空间。

7.如权利要求2所述的拉晶炉，其特征在于，所述第一部件和所述第二部件通过螺纹连接。

8.如权利要求7所述的拉晶炉，其特征在于，所述第一部件在其与所述第二部件的连接处设置有内螺纹，所述第二部件在其与所述第一部件的连接处设置有外螺纹。

9.如权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，所述籽晶的一端具有一位于所述籽晶夹头内的夹持部件，所述籽晶的另一端从所述籽晶夹头中延伸出以用于和所述坩埚中的熔融硅料接触。

10.如权利要求9所述的拉晶炉，其特征在于，所述籽晶的夹持部件为T型或I型结构。

11.如权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，所形成的晶棒包括引晶、晶冠、晶体以及尾部，所述晶体为圆柱体结构。

12.如权利要求11所述的拉晶炉，其特征在于，所述籽晶夹头在垂直于其移动方向上具有最大截面尺寸的截面形状为圆形。

13.如权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，所述拉晶炉还包括一提拉单元，所述拉晶单元设置于所述坩埚上方并连接所述籽晶夹头，用于控制所述籽晶夹头的上下移动。

14.如权利要求13所述的拉晶炉，其特征在于，所述拉晶单元包括一提拉线以及一控制所述提拉线上升下降的驱动机构，所述提拉线连接所述籽晶夹头。

15.如权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，所述拉晶炉还包括一加热器，所述加热器围绕所述坩埚设置。

16.如权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，所述拉晶炉还包括一惰性气体供应系统，所述惰性气体供应系统用于向拉晶炉的炉内通入惰性气体。

17.如权利要求16所述的拉晶炉，其特征在于，所述惰性气体为氩气。

18.如权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，所述拉晶炉采用磁场直拉法形成所述晶棒。