[发明专利]一种联烯型酸压缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种联烯型酸压缓蚀剂，其包含通式(I)所示的联烯型化合物和增效剂；

在通式(I)中，Ar选自苄基、苯基、α-萘基、β-萘基、吡啶基和喹啉基中的一种或多种；

R¹选自H或C₁-C₈的直链烃基；

R²选自H、CH₂OH、CH₂NH₂、CH₂NHCH₃、CH₂NHCH₂CH₃、CH₂NHCH₂CH₂CH₃、CH₂NHCH₂CH₂CH₂CH₃、CH₂NHCH₂CH₂CH₂CH₂CH₃、CH₂NH(CH₂CH₂O)_nH和CH₂NH(CH₂CH₂NH)_nH中的一种或多种；

R³选自H、C₁-C₅的直链烃基、(CH₂CH₂O)_nH和(CH₂CH₂NH)_nH中的一种或多种；

X选自O、S、NH和PH中的一种或多种；

所述增效剂选自甲酸、丙炔醇、碘化钾、碘化亚铜、氯化亚铜、三氧化二锑、三氯化铋、苯乙酮、苯胺、肉桂醛、苄基氯化吡啶、萘甲基氯化喹啉、十二烷基溴化吡啶和十二烷基溴化喹啉中的一种或多种；

基于缓蚀剂的总重量计，所述通式(I)所示的联烯型化合物的含量为10wt％-50wt％，

基于缓蚀剂的总重量计，所述增效剂的含量为10wt％-35wt％。

2.根据权利要求1所述的联烯型酸压缓蚀剂，其特征在于，所述通式(I)所示的联烯型化合物包括2-羟甲基-4-苯基-2,3-二烯丁醇、2-羟甲基-4-苯基-2,3-二烯N-甲基丁胺、2-羟甲基-4-(1-奈基)-2,3-二烯丁醇、2-羟甲基-4-(2-奈基)-2,3-二烯丁醇，2-巯基-4-苯基-2,3-二烯丁醇、2-巯基-4-苯基-2,3-二烯N-甲基丁胺中的一种或多种。

3.根据权利要求1或2所述的联烯型酸压缓蚀剂，其特征在于，基于缓蚀剂的总重量计，所述通式(I)所示的联烯型化合物的含量为30wt％-40wt％。

4.根据权利要求1或2所述的联烯型酸压缓蚀剂，其特征在于，基于缓蚀剂的总重量计，所述增效剂的含量为15wt％-25wt％。

5.根据权利要求1或2所述的联烯型酸压缓蚀剂，其特征在于，所述联烯型酸压缓蚀剂还包括润湿剂；基于缓蚀剂的总重量计，所述润湿剂的含量≤15wt％。

6.根据权利要求5所述的联烯型酸压缓蚀剂，其特征在于，基于缓蚀剂的总重量计，所述润湿剂的含量为5wt％-10wt％。

7.根据权利要求5所述的联烯型酸压缓蚀剂，其特征在于，所述润湿剂选自平平加O-10、平平加O-15、平平加O-20、OP-10、OP-15、OP-20、Tween-20、Tween-60和Tween-80中的一种或多种。

8.一种如权利要求1-7中任意一项所述联烯型酸压缓蚀剂的制备方法，其包括：

步骤A，将通式(I)所示的联烯型化合物与有机溶剂混合均匀，制得混合液；

步骤B，将混合液与增效剂以及任选的润湿剂混合均匀，制得所述联烯型酸压缓蚀剂。