[发明专利]关于两个轴线振荡并且具有位置检测系统的特别是压阻型的MEMS器件

权利要求书

1.一种MEMS器件(40；140)，包括：

平台(45)；

框架(48)，其通过弹性连接元件(46)来支撑所述平台，所述弹性连接元件(46)被配置成允许所述平台关于第一轴线(A)的旋转；

承载结构(41)，其通过弹性悬挂元件(49；149；249)来支撑所述框架(48)，所述弹性悬挂元件(49；149；249)被配置成允许所述框架(48)关于横向于所述第一轴线(A)的第二轴线(B)的旋转；以及

应力传感器(51、52)，其被布置在所述弹性悬挂元件(49；149；249)上，

所述弹性悬挂元件(49；149；249)通过关于所述第二轴线(B)被偏移布置的相应锚固部分(50)而被锚固到所述承载结构(41)，

其中所述弹性悬挂元件具有蛇形形状，所述蛇形形状包括平行于所述第二轴线延伸的蛇形梯元件，所述蛇形梯元件通过平行于所述第一轴线延伸的蛇形连接器元件来被连接，其中所述蛇形梯元件与所述蛇形连接器元件相比具有更大的最大长度。

2.根据权利要求1所述的器件，其中所述应力传感器靠近所述锚固部分(50)布置。

3.根据权利要求1或2所述的器件，其中所述弹性悬挂元件(49；149；249)被配置成允许所述框架(48)也关于所述第一轴线(A)旋转，并且使得所述框架(48)关于所述第一轴线和所述第二轴线的所述旋转在所述弹性悬挂元件(49；149；249)上仅产生扭转应力。

4.根据权利要求1或2所述的器件，其中所述弹性悬挂元件包括第一悬挂臂和第二悬挂臂(49；149；249)，并且所述应力传感器包括分别被布置在所述第一悬挂臂和所述第二悬挂臂上的第一传感器元件和第二传感器元件(51、52)。

5.根据权利要求4所述的器件，其中所述第一传感器元件和所述第二传感器元件(51、52)关于所述第一轴线(A)对称地被布置在所述第二轴线(B)的相同侧。

6.根据权利要求4所述的器件，其中所述第一传感器元件和所述第二传感器元件(51、52)靠近所述锚固部分(50)布置。

7.根据权利要求4所述的器件，其中每个传感器元件(51、52)包括压阻或压电类型的第一电阻器和第二电阻器(53-56)，每个传感器元件(51、52)的所述第一电阻器和所述第二电阻器被布置成横向于所述第二轴线(B)并且关于对称轴彼此对称，所述对称轴平行于所述第一轴线(A)，每个传感器元件的所述第一电阻器和所述第二电阻器(53-56)定义第一偏置节点和第二偏置节点(SB1+、SB1-、SB2+、SB2-)以及中间输出节点(SO1、SO2；SO1-、SO2+)。

8.根据权利要求7所述的器件，其中每个传感器元件(51、52)的所述第一电阻器和所述第二电阻器(53-56)被布置在相对于所述第二轴线(B)的±45°处。

9.根据权利要求7或8所述的器件，其中每个传感器元件(51、52)的所述第一电阻器和所述第二电阻器(53-56)定义半桥配置。

10.根据权利要求7或8所述的器件，其中每个传感器元件(51、52)包括压阻或压电类型的第三电阻器和第四电阻器(70-73)，其中每个传感器元件(51、52)的所述第一电阻器、所述第二电阻器、所述第三电阻器和所述第四电阻器(53-56、70-73)定义桥配置。

11.根据权利要求1、2、5-8中的任一项所述的器件，其中所述弹性悬挂元件包括具有蛇形或L形的形状的悬挂臂(49；149；249)。

12.根据权利要求11所述的器件，其中所述悬挂臂(49；149；249)具有第一端(49A)和第二端(49B)，所述悬挂臂的所述第一端(49A)被布置在所述第二轴线(B)的第一侧，并且所述悬挂臂的所述第二端(49B)被布置在所述第二轴线(B)的第二侧。