[发明专利]电子束物理气相沉积用氧化锆基陶瓷靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201610875896.7 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN106518065B | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 何箐;邹晗;吕玉芬;王世兴;王伟平 | 申请（专利权）人： | 中国农业机械化科学研究院;北京金轮坤天特种机械有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/49 | 分类号： | C04B35/49;C04B35/622;C04B35/634;B28B3/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;鲍俊萍 |
| 地址： | 100083 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子束 物理 沉积 氧化锆 陶瓷 及其 制备 方法 | ||
【说明书】：
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