[发明专利]振动控制设备、光刻设备以及制造物品的方法在审
| 申请号： | 201610877931.9 | 申请日： | 2016-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN106569516A | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 绳田亮;野田宪司 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G05D19/02 | 分类号： | G05D19/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 贾金岩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 振动 控制 设备 光刻 以及 制造 物品 方法 | ||
【权利要求书】：
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