[发明专利]垂直存储器件

说明书

本公开提供了垂直存储器件。一种垂直存储器件包括：基板；多个沟道，在基板上并在垂直于基板的顶表面的第一方向上延伸；多条栅线，在基板上层叠在彼此之上；多条布线，在栅线上方并电连接到栅线；以及识别图案，在基板上处于与布线中的至少一条的层级相同的层级。栅线围绕沟道。栅线沿着第一方向彼此间隔开。

技术领域

示例实施方式涉及垂直存储器件及其制造方法。更具体地，示例实施方式涉及包括垂直层叠的栅线的垂直存储器件及其制造方法。

背景技术

近来，包括关于基板的表面垂直层叠的多个存储单元的垂直存储器件已经被发展，用于实现高集成度。在垂直存储器件中，具有柱形或圆柱形的沟道可以从基板的表面垂直地突出，并且围绕该沟道的栅线可以反复地层叠。

随着垂直存储器件的集成度变得更大，栅线的数目以及包括沟道和栅线的块区(block)的数目会增大。因此，会增加垂直存储器件的复杂性。

发明内容

示例实施方式提供一种具有改善的工艺和操作可靠性的垂直存储器件。

示例实施方式提供一种制造具有改善的工艺和操作可靠性的垂直存储器件的方法。

根据示例实施方式，一种垂直存储器件包括：基板；多个沟道，在基板上，沟道在垂直于基板的顶表面的第一方向上延伸；多条栅线，在基板上层叠在彼此之上，栅线围绕沟道，栅线沿着第一方向彼此间隔开；多条布线，在栅线上方并电连接到栅线；以及识别图案(identification pattern)，在基板上处于与至少一个布线的层级(level)相同的层级。

在示例实施方式中，每个层级的栅线可以包括在平行于基板的顶表面的第二方向上延伸的台阶部，布线可以电连接到对应的栅线的台阶部。

在示例实施方式中，识别图案可以在第二方向上与沟道间隔开，布线设置在沟道与识别图案之间。

在示例实施方式中，垂直存储器件还可以包括在基板上且在识别图案和一条布线之间的虚设布线。

在示例实施方式中，垂直存储器件还可以包括在第三方向上延伸的位线，该第三方向可以平行于基板的顶表面并交叉第二方向。位线可以连接到沟道中的至少一个。识别图案和位线可以处于相同的层级。

在示例实施方式中，在平面图中，识别图案可以在位线和布线之间。

在示例实施方式中，布线可以设置在基板上方的多个层级，识别图案可以在与布线中的最下面的布线的层级相同的层级。

在示例实施方式中，布线可以设置在基板上方的多个层级，识别图案可以设置在与布线中的最上面的布线的层级相同的层级。

在示例实施方式中，层级可以设置在基板上方的多个层级，识别图案可以设置在所述多个层级中的两个或更多层级。

在示例实施方式中，识别图案可以包括多个点状图案(dot pattern)、多个线形图案、以及点状图案和线形图案的组合中的一个。

在示例实施方式中，识别图案可以包括多个线形图案，并且线形图案可以彼此交叉。

在示例实施方式中，识别图案和布线可以包括相同的导电材料。

根据示例实施方式，一种垂直存储器件包括：基板；在基板上的多个单元块；多条布线；以及在基板上的识别图案。每个单元块包括：在垂直于基板的顶表面的第一方向上延伸的多个沟道以及在基板上层叠在彼此之上的多条栅线。栅线围绕沟道。栅线沿着第一方向彼此间隔开。多条布线在栅线上方并电连接到栅线。识别图案对应于多个单元块中的至少一个。

在示例实施方式中，识别图案可以设置在与布线中的至少一个的层级相同的层级。