[发明专利]一种具有结构解耦能力的双质量块音叉角速率陀螺仪

权利要求书

1.一种具有结构解耦能力的双质量块音叉角速率陀螺仪，其特征在于：包括上层真空封装盖板、下层硅衬底和中层单晶硅片，中层单晶硅片上设有陀螺机械结构，所述陀螺机械结构包括质量块连接机构（2）、两个子结构（1）、两个桁架与水平直梁的组合机构（3）、两个U型梁组合梁（4）、八个第一U型梁（6）和四个直梁（12），所述两个子结构（1）对称分布在质量块连接机构（2）和两个桁架与水平直梁的组合机构（3）的两侧，质量块连接机构（2）和两个桁架与水平直梁的组合机构（3）呈直线分布，且质量块连接机构（2）位于两个桁架与水平直梁的组合机构（3）之间，第一U型梁（6）沿子结构（1）的长边设置，且位于长边的两端，桁架与水平直梁的组合机构（3）通过第一U型梁（6）与子结构（1）连接，U型梁组合梁（4）沿子结构（1）的长边设置，且位于远离质量块连接机构（2）一侧的两个第一U型梁（6）的中间；直梁（12）沿子结构（1）宽度方向设置，用于连接子结构（1）两侧的第一U型梁（6）。

2.根据权利要求1所述的具有结构解耦能力的双质量块音叉角速率陀螺仪，其特征在于：位于子结构（1）同一侧的两个U型梁（6）开口方向相对。

3.根据权利要求1所述的具有结构解耦能力的双质量块音叉角速率陀螺仪，其特征在于：所述质量块连接机构（2）包括一个水平第一直梁（203）、4个第二直梁（202）和4个第二U型梁（201）；水平直梁（203）的两端分别通过两个开口相对设置的第二U型梁（201）与子结构（1）连接，4个第二直梁（202）对称分布在第一直梁（203）上，每根第二直梁（202）均有一端与第一直梁（203）中心相连，两者夹角均为45°，另一端与上层真空封装盖板和下层硅衬底锚固。

4.根据权利要求3所述的具有结构解耦能力的双质量块音叉角速率陀螺仪，其特征在于：上述4个第二直梁（202）两两一组，对称分布在第一直梁（203）两侧，位于同一侧的两根第二直梁（202）之间的夹角为90°。

5.根据权利要求3所述的具有结构解耦能力的双质量块音叉角速率陀螺仪，其特征在于：所述两个开口相对设置的第二U型梁（202）的开口端相连。

6.根据权利要求1所述的具有结构解耦能力的双质量块音叉角速率陀螺仪，其特征在于：所述桁架与水平直梁的组合机构（3）包括V型桁架（301）和水平直梁（302），V型桁架（301）的顶点与水平直梁（302）中心连接，水平直梁（302）与质量块连接机构（2）同侧，V型桁架（301）的两个自由端与第一U型梁（6）封闭端侧壁连接，水平直梁（302）两端均与上层真空封装盖板和下层硅衬底锚固。

7.根据权利要求1所述的具有结构解耦能力的双质量块音叉角速率陀螺仪，其特征在于：所述U型梁组合梁（4）包括两个第三U型梁（401），两个第三U型梁（401）开口端相连，连接处外壁与上层真空封装盖板和下层硅衬底锚固。