[发明专利]用于多模并行光互连的光耦合集成结构

权利要求书

1.一种用于多模并行光互连的光耦合集成结构，包括光纤体（4）以及载片（1）；其特征是：还包括与光纤体（4）呈同轴分布的透镜体（14）、与所述透镜体（14）正对准的光学器件（11）以及与所述光学器件（11）适配的光学驱动放大电路（6），所述透镜体（14）邻近光纤体（4）的端部，且透镜体（14）位于光纤体（4）与光学器件（11）间；载片（1）上设置相互垂直的水平互连金属线（2）与垂直互连金属线（13），所述垂直互连金属线（13）与水平互连金属线（2）电连接；光学器件（11）安装于载片（1）的垂直互连金属线（13）一侧，并与所述垂直互连金属线（13）电连接，光学驱动放大电路（6）通过电路互连金属线（5）与水平互连金属线（2）电连接，以使得光学器件（11）与适配的光学驱动放大电路（6）电连接。

2.根据权利要求1所述的用于多模并行光互连的光耦合集成结构，其特征是：所述光纤体（4）为多模光纤或光纤阵列，光纤体（4）安装于光纤体安装固定座（8）上。

3.根据权利要求1所述的用于多模并行光互连的光耦合集成结构，其特征是：所述水平互连金属线（2）与垂直互连金属线（13）为同一工艺层，载片（1）内设有贯通载片（1）的对准孔（3），光学器件（11）与透镜体（14）分别位于载片（1）的两侧，光学器件（11）通过对准孔（3）与透镜体（14）正对准。

4.根据权利要求1所述的用于多模并行光互连的光耦合集成结构，其特征是：所述电路互连金属线（5）为金丝压焊，电路互连金属线（5）的一端与光学驱动放大电路（6）的电路连接焊盘（7）接触后电连接，电路互连金属线（5）的另一端与水平互连金属线（2）接触后电连接。

5.根据权利要求1所述的用于多模并行光互连的光耦合集成结构，其特征是：所述光学器件（11）与透镜体（14）位于载片（1）的同一侧，透镜体（14）安装于光学器件（11）表面的光学器件连接层（20）上，且光学器件（11）通过光学器件连接层（20）以及光学器件连接线（15）与垂直互连金属线（13）电连接。

6.根据权利要求1所述的用于多模并行光互连的光耦合集成结构，其特征是：所述透镜体（14）为透镜或透镜阵列，光学器件（11）为VCSEL、VCSEL阵列、PIN探测器或PIN探测器阵列。

7.根据权利要求2所述的用于多模并行光互连的光耦合集成结构，其特征是：所述光纤体（4）的光纤头为齐头或斜面，光纤体安装固定座（8）、载片（1）均支撑固定于支撑底座（9）上，光学驱动放大电路（6）支撑固定于载板（7）上或直接支撑固定于支撑底座（9）上。

8.根据权利要求1所述的用于多模并行光互连的光耦合集成结构，其特征是：所述载片（1）的材料包括硅。