[发明专利]新型X射线成像技术

权利要求书

1.一种使用X射线成像装置对样品进行成像的方法，包括以下步骤：

—在样品保持器上提供样品；

—引导来自源的一定通量的X射线通过样品且到X射线照相机上，

其特征在于以下步骤：

—将源具体实施为部件源的集群，相对于样品而言具有受限的角跨度；

—使用所述照相机来从所述部件源记录累积合成图像；

—以数学方式对所述合成图像解卷积。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，针对部件源的所述集群使用采用点扩散函数核的迭代再加权收敛技术来执行所述解卷积。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，同时地部署所述部件源中的至少某些以对样品进行成像。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其中，顺续地部署所述部件源中的至少某些以对样品进行成像。

5.根据权利要求1—4中的任一项所述的方法，其中，所述角分布是非规则的。

6.根据权利要求1—5中的任一项所述的方法，其中，相对于样品的所述角跨度θ满足θ＜10°、优选地θ＜5°且更优选地θ＜1°。

7.根据权利要求1—6中的任一项所述的方法，其中：

—源包括其中部件源作为离散金属体被悬挂的支撑材料主体；

—通过用带电粒子束照射部件源来引起它们发射X射线。

8.根据权利要求1—7中的任一项所述的方法，其中，所述源包括单独可选择FEG的阵列。

9.根据权利要求1—8中的任一项所述的方法，其中，在断层成像程序中采用解卷积合成图像作为输入分量图像。

10.一种X射线成像装置，包括：

—样品保持器，其用于保持样品；

—X射线源，用于指引一定通量的X射线通过样品且到X射线照相机上；

—自动控制器，用于控制装置的操作的至少一部分，

其特征在于：

—该源被具体实施为部件源的集群，相对于样品保持器而言具有受限的角跨度；

—所述控制器被配置成：

▪ 使用所述照相机来从所述部件源记录累积合成图像；

▪ 在所述合成图像上执行数学解卷积程序。

11.根据权利要求10所述的X射线成像装置，其中，所述控制器被配置成针对部件源的所述集群使用采用点扩散函数核的迭代再加权收敛技术来执行所述解卷积。

12.一种包括如权利要求10或11中所述的X射线成像装置的带电粒子显微镜。