[发明专利]一种提高岩盐结构氮化铪膜性能的方法有效
| 申请号： | 201610883676.9 | 申请日： | 2016-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN106367719B | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 胡超权;郑伟涛;顾志清 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 张岩;朱世林 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 提高 岩盐 结构 氮化 性能 方法 | ||
【权利要求书】：
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