[发明专利]一种探针台及低温测试系统

权利要求书

1.一种探针台，其特征在于：包括样品台，样品台上设有用于与样品连接的探针，探针的后端具有用于与测试台腔室内的电极连接的连接结构，样品台上还设有用于固定样品的样品夹具，样品台具有自样品台上表面向下凹陷的样品放置凹槽；探针台独立设置并与测试台腔室内的电极可拆式连接；样品台与探针台一体设置。

2.根据权利要求1所述的探针台，其特征在于：所述样品夹具包括至少两个相对设置的弹簧顶片。

3.根据权利要求1或2所述的探针台，其特征在于：所述探针包括针柄和针头，针柄上开有贯通上下两面的针柄长孔，针头端部具有向下弯折的触头，通过螺钉穿过所述针柄长孔将针柄压紧在样品台上。

4.根据权利要求2所述的探针台，其特征在于：所述弹簧顶片上开有贯通上下两面的夹具长孔，通过螺钉穿过夹具长孔将弹簧顶片压紧在所述样品台上。

5.根据权利要求1或2所述的探针台，其特征在于：所述样品台为圆台，所述样品放置凹槽为圆柱形凹槽，样品台还设有自样品台外周面贯通至圆柱形凹槽的夹具安装孔，夹具安装孔内通过螺钉固定所述样品夹具，所述探针通过螺钉将其压紧在样品台的上表面上。

6.根据权利要求1、2或4所述的探针台，其特征在于：所述样品放置凹槽的内壁上布设有散热孔。

7.低温测试系统，其特征在于：包括低温测试台和为低温测试台制冷的制冷装置，低温测试台包括测试台腔室和可放入测试台腔室的探针台，测试台腔室包括设在测试台腔室下部的测试平台和罩设在测试平台上的腔室上盖，探针台包括样品台，样品台上设有用于与样品连接的探针，探针后端与测试台腔室内的电极可拆式连接，样品台上还设有用于固定样品的样品夹具，样品台具有自样品台上表面向下凹陷的样品放置凹槽；探针台独立设置并与测试台腔室内的电极可拆式连接；样品台与探针台一体设置。

8.根据权利要求7所述的低温测试系统，其特征在于：所述样品夹具包括至少两个相对设置的弹簧顶片。

9.根据权利要求7或8所述的低温测试系统，其特征在于：所述探针包括针柄和针头，针柄上开有贯通上下两面的针柄长孔，针头端部具有向下弯折的触头，通过螺钉穿过所述针柄长孔将针柄压紧在样品台上。

10.根据权利要求8所述的低温测试系统，其特征在于：所述弹簧顶片上开有贯通上下两面的夹具长孔，通过螺钉穿过夹具长孔将弹簧顶片压紧在所述样品台上。

11.根据权利要求7或8所述的低温测试系统，其特征在于：所述样品台为圆台，所述样品放置凹槽为圆柱形凹槽，样品台还设有自样品台外周面贯通至圆柱形凹槽的夹具安装孔，夹具安装孔内通过螺钉固定所述样品夹具，所述探针通过螺钉将其压紧在样品台的上表面上。

12.根据权利要求7、8或10所述的低温测试系统，其特征在于：所述样品放置凹槽的内壁上布设有散热孔。