[发明专利]用于检测晶圆框架平整度的治工具有效
| 申请号： | 201610884686.4 | 申请日： | 2016-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN106482620B | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 陈伟;贾红星;谢志峰 | 申请（专利权）人： | 江苏纳沛斯半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/28 | 分类号： | G01B5/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 223002 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 检测 框架 平整 工具 | ||
【权利要求书】：
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