[发明专利]单压电片执行器阵列驱动的变形镜有效
申请号: | 201610885659.9 | 申请日: | 2016-10-11 |
公开(公告)号: | CN106646858B | 公开(公告)日: | 2019-09-03 |
发明(设计)人: | 马剑强;章家连;朱正雄;田雷;喻奇志;李艳 | 申请(专利权)人: | 宁波大学 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08 |
代理公司: | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人: | 黄芳 |
地址: | 315211 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电片 器阵列 镜面 变形镜 压电层 连接柱 驱动 弹性层 低成本 电极层 带通 传递 支撑 覆盖 | ||
1.单压电片执行器阵列驱动的变形镜,其特征在于:包括单压电片执行器阵列、设置在单压电片执行器阵列上方的镜面,单压电片执行器阵列包括多个固定于带通孔的基座上的单压电片执行器,每个单压电片执行器上均连接有支撑镜面用的连接柱,每个单压电片执行器包括弹性层和压电层,压电层的两面均覆盖有尺寸略小于压电层尺寸的电极层,每个单压电片执行器下面均对应一个通孔并且同心设置,通过弹性层固定于基座上,弹性层的直径略大于通孔直径,压电层覆盖有上电极层和下电极层,下电极层与弹性层是连通的,各个电极接在一起,上电极层通过基座的通孔引出,各个电极分别控制。
2.如权利要求1所述的单压电片执行器阵列驱动的变形镜,其特征在于:镜面表面覆盖有光学反射层。
3.如权利要求1所述的单压电片执行器阵列驱动的变形镜,其特征在于:单压电片执行器为圆形结构,压电层的直径略小于弹性层直径。
4.如权利要求1~3之一所述的单压电片执行器阵列驱动的变形镜,其特征在于:压电层设置在弹性层的上方,或者弹性层设置在压电层的上方。
5.如权利要求4所述的单压电片执行器阵列驱动的变形镜,其特征在于:与弹性层接触的电极层与弹性层连通,并连接于同一根电线上。
6.如权利要求5所述的单压电片执行器阵列驱动的变形镜,其特征在于:连接柱位于单压电片执行器的中心处。
7.如权利要求6所述的单压电片执行器阵列驱动的变形镜,其特征在于:单压电片执行器是蜂窝状排列或是矩阵式排列。
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