[发明专利]一种同时检测温度和应变信号的传感器

权利要求书

1.一种同时检测温度和应变信号的传感器，其特征在于：该传感器包括贴覆在待测零件表面(1)上的具有导电功能的金属薄膜层Ⅰ(2)，金属薄膜层Ⅰ(2)上带一根信号引出线Ⅰ(6)；

在金属薄膜层Ⅰ(2)的上面贴覆一层对温度信号敏感的功能薄膜层(3)，所述功能薄膜层(3)的材料是镍铬、镍硅、铂铑13、铂、铂铑10、铂铑30、铂铑6、康铜或铜，功能薄膜层(3)的厚度不小于5nm，功能薄膜层(3)与金属薄膜层Ⅰ(2)的重叠贴覆的面积不小于0.02mm²，功能薄膜层(3)与金属薄膜层Ⅰ(2)导通；

在功能薄膜层(3)的上表面与一根对应变信号敏感的栅状线条(4)的一端连接，所述栅状线条(4)的材料是金、锰、铂、康铜、镍铬、镍铬铝铁合金、镍铬硅、镍铬铝铜合金、钯铬或铂钨合金，栅状线条(4)的线条的宽度不小于0.2mm，栅状线条(4)的线条的长度不小于0.5mm，栅状线条的厚度不小于5nm，栅状线条(4)的线条与功能薄膜层(3)的连接端的接触面积不小于0.02mm²，栅状线条(4)与功能薄膜层(3)的连接端之外的其它部分贴覆在待测零件表面(1)上；

在栅状线条(4)的线条与功能薄膜层(3)的连接端的接触位置处贴覆一层金属薄膜层Ⅱ(5)，该金属薄膜层Ⅱ(5)不与功能薄膜层(3)接触，在栅状线条(4)的线条的另一端同样贴覆一层金属薄膜层Ⅱ(5)，所述金属薄膜层Ⅱ(5)的厚度不小于5nm，该金属薄膜层Ⅱ(5)与栅状线条(4)线条的连接端的接触面积不小于0.02mm²，从与栅状线条(4)两端连接的金属薄膜层Ⅱ(5)上分别引出一根信号引出线Ⅱ(7)、信号引出线Ⅲ(8)。

2.根据权利要求1所述的同时检测温度和应变信号的传感器，其特征在于：所述金属薄膜层Ⅰ(2)、功能薄膜层(3)、栅状线条(4)和金属薄膜层Ⅱ(5)的厚度叠加之和小于1mm。

3.根据权利要求1所述的同时检测温度和应变信号的传感器，其特征在于：所述各贴覆和接触部位的结合力按接触式测量方法测量的数据应大于50N。

4.根据权利要求1所述的同时检测温度和应变信号的传感器，其特征在于：在金属薄膜层Ⅰ(2)与金属薄膜层Ⅱ(5)之间填充绝缘材料，所述的绝缘材料是氧化物、氮化物或非金属单质绝缘材料。

5.根据权利要求1所述的同时检测温度和应变信号的传感器，其特征在于：栅状线条(4)的线条与功能薄膜层(3)的连接端形成一个热电偶，该热电偶为镍铬-镍硅的K型热电偶、铂铑13-铂的R型热电偶、铂铑10-铂的S型热电偶、铂铑30-铂铑6的B型热电偶、镍铬-康铜的E型热电偶或铜-康铜的T型热电偶中的一种。