[发明专利]一种空气耦合超声波检测薄膜厚度的方法有效
申请号: | 201610889064.0 | 申请日: | 2016-10-12 |
公开(公告)号: | CN106441176B | 公开(公告)日: | 2019-04-02 |
发明(设计)人: | 沈宇平;赵军辉 | 申请(专利权)人: | 苏州博昇科技有限公司 |
主分类号: | G01B17/02 | 分类号: | G01B17/02 |
代理公司: | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人: | 潘志渊 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 空气 耦合 超声波 检测 薄膜 厚度 方法 | ||
【权利要求书】:
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