[发明专利]一种耐腐蚀耐磨铜锰合金靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201610890538.3 | 申请日： | 2016-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN106636733B | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 付淑珍 | 申请（专利权）人： | 科美（广州）电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C22C9/05 | 分类号： | C22C9/05;C22C9/00;C22F1/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 泉州市兴博知识产权代理事务所(普通合伙) 35238 | 代理人： | 易敏 |
| 地址： | 510000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 耐腐蚀 靶材 制备 乙基香兰素 合金靶材 锰合金 耐磨铜 搅拌摩擦加工 重量百分比 热处理 氩气 晶粒细化 耐磨性能 使用寿命 市场推广 铜锰合金 原始坯料 重量配比 再结晶 开坯 冷轧 热锻 变形 | ||
【权利要求书】：
1.一种耐腐蚀耐磨铜锰合金靶材，其特征在于，由以下重量百分比的组分组成：
乙基香兰素0.2-0.3wt％、Mn 0.7-0.9wt％、Sc 0.2-0.4wt％、Nb 0.1-0.2wt％、Zr0.05-0.06wt％、Cs 0.08-0.09wt％、余量为铜；
所述的一种耐腐蚀耐磨铜锰合金靶材通过下述的制备方法制备得到：
(1)按照重量配比准备各原料组分；
(2)热锻开坯，之后进行70-90％的冷轧变形，再经过500-600℃的再结晶热处理，保温3-5小时；
(3)升温至700-780℃，添加氩气并除去液面浮渣制备得到原始坯料；
(4)对原始坯料使用搅拌摩擦加工进行晶粒细化，得到晶粒尺寸大小6-7μm的铜锰合金溅射靶材；
所述步骤(2)在大气或者真空条件下进行；
所述步骤(3)中升温至765-780℃下添加氩气精炼15-20分钟；
所述步骤(4)搅拌摩擦加工中搅拌速度为1000-1200转/分钟；
所述步骤(4)搅拌摩擦加工中对坯料进行水冷；
所述步骤(4)搅拌摩擦加工中加工后对坯料进行低温去应力退火，退火温度为150-160℃。
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