[发明专利]一种MEMS陀螺仪

权利要求书

1.一种MEMS陀螺仪，包括上盖板、测量体以及下盖板，所述测量体设置于所述上盖板及下盖板之间，所述测量体中设置有与所述上盖板以及下盖板相连接的锚点；所述测量体包括相互对称设置的两组质量块组；其特征在于：每组质量块组包括：驱动质量块、传动质量块以及检测质量块；所述质量块组通过耦合梁相连接，所述耦合梁的一端与所述锚点相连接；所述驱动质量块以及所述检测质量块通过连接梁与所述锚点相连接；所述驱动质量块设置在所述传动质量块中，并通过所述连接梁与所述传动质量块相连接；所述传动质量块通过连接梁与所述检测质量块相连接；每组所述质量块组中的所述驱动质量块与所述锚点之间形成有驱动梳齿结构；一组所述质量块组中的与检测质量块相连接的检测梳齿与另一组与所述质量块组中的与检测质量块相连接的检测梳齿相互交叉，形成检测梳齿结构；所述测量体通过检测两组所述检测梳齿之间的间距变化引起的电容值变化来检测角速度。

2.根据权利要求1所述的陀螺仪，其特征在于：所述驱动梳齿结构向两组所述质量块组中的所述驱动质量块施加同频率同幅度反方向的驱动信号。

3.根据权利要求2所述的陀螺仪，其特征在于：所述驱动信号为正弦波，所述驱动信号频率在3000赫兹至10000赫兹之间。

4.根据权利要求1所述的陀螺仪，其特征在于：所述驱动质量块、传动质量块以及检测质量块的位移方向在同一平面中。

5.根据权利要求4所述的陀螺仪，其特征在于：所述驱动质量块的位移方向被连接梁限制在一个维度中；所述检测质量块的位移方向被连接梁限制在另一个维度中；所述驱动质量块的位移方向与所述检测质量块的位移方向相垂直。

6.根据权利要求5所述的陀螺仪，其特征在于：所述连接梁由多个工字型折叠梁组成。

7.根据权利要求1所述的陀螺仪，其特征在于：所述检测质量块中形成有二氧化硅层；所述二氧化硅层将所述检测质量块间隔成多个检测区域和反馈区域；所述检测区域和所述反馈区域上分别形成有金属电极，所述检测区域与所述反馈区域之间相互电隔离。

8.根据权利要求1所述的陀螺仪，其特征在于，所述上盖板与所述下盖板由硅或玻璃制成。

9.一种MEMS陀螺仪，包括上盖板、测量体以及下盖板，所述测量体设置于所述上盖板及下盖板之间，所述测量体中设置有与所述上盖板以及下盖板相连接的锚点；所述测量体包括相互对称设置的两组质量块组；其特征在于：每组质量块组包括：驱动质量块、传动质量块以及检测质量块；所述质量块组通过耦合梁相连接，所述耦合梁的一端与所述锚点相连接；所述驱动质量块以及所述检测质量块通过连接梁与所述锚点相连接；所述传动质量块通过连接梁分别与所述驱动质量块以及所述检测质量块相连接；每组所述质量块组中的所述检测质量块与所述锚点之间形成有检测梳齿结构；一组质量块组中的所述驱动质量块与另一组质量块组中的所述驱动质量块之间形成有驱动梳齿结构。

10.根据权利要求9所述的陀螺仪，其特征在于：所述驱动质量块、传动质量块以及检测质量块的位移方向在同一平面中。

11.根据权利要求10所述的陀螺仪，其特征在于：所述驱动质量块的位移方向被连接梁限制在一个维度中；所述检测质量块的位移方向被连接梁限制在另一个维度中；所述驱动质量块的位移方向与所述检测质量块的位移方向相垂直。