[发明专利]超声波图像装置

说明书

本发明的课题为超声波图像装置检测探针与工件的干扰，抑制所述探针或工件的损伤。其解决方案为，超声波图像装置(1)配备有：利用超声波将平面状的工件(8)图像化用的探针(4)、使探针(4)对工件(8)的面进行扫描的三轴扫描器(2)、检测工件(8)和探针(4)的干扰的传感器(3)。

技术领域

本发明涉及具有探针干扰检测功能的超声波图像装置。

背景技术

过去，在超声波图像装置(SAT：Scanning Acoustic Tomograph：超声波断层扫描摄影装置)中，在水中设置半导体或集成电路等作为被检测体的平面状的工件，一边使被称为探针的超声波发送接受传感器沿着该工件的表面进行扫描一边进行由超声波实施的测定。借此，可以研究工件有没有缺陷(剥离或空隙)。

工件与探针的距离随条件而变化，例如，有时会接近于毫米量级以下，这时，探针和工件会产生干扰。在发生了这种干扰的情况下，存在着担心会对工件及探针造成损伤的问题。

专利文献1记载的发明，是检测这样的探针的碰撞，使扫描停止的发明。在专利文献1的摘要中记载了“在具有超声波测定用的探针1、探针1的保持器2、使保持器在三个方向上移动等的扫描器3+4，利用扫描器3、4使探针1移动来进行超声波测定的超声波测定装置中，配备有感应伸缩两个方面的应变的两个应变传感器31、32、以及根据传感器31、32的状态等产生扫描器3+4的动作停止用的检测信号A的检测电路260，这些传感器31、32以在保持器2的中间部分的外表面大致相互正交的两个面作为各自的安装面，并且，被分别以对与这些安装面两者大致平行的方向上的应变进行感应的方向进行安装。”

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平7－103951号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在专利文献1记载的发明中，通过利用应变传感器检测超声波探针的侧面方向的应变，检测出工件和探针的干扰。但是，近年来，由于超声波探针的扫描速度极快，所以，必须考虑由水引起的侧面方向的应力。即，当用超声波探针扫描时，由于水的应力而产生侧面方向的应变，存在着将其错误地判断为超声波探针和工件碰撞的担忧。另外，在专利文献1记载的发明中，超声波探针被固定到Z轴扫描器上。因而，在与工件碰撞时，施加大的应力，存在着工件或探针破损的担忧。

因此，本发明的课题为，在超声波图像装置中，检测探针与工件的干扰、抑制这些探针和工件的损伤作为课题。

解决课题的手段

为了解决前述课题，第一个发明的超声波图像装置，配备有：利用超声波将平面状的工件图像化用的探针；对于前述工件的表面使所述探针进行二维扫描的扫描机构；通过检测前述探针的向上方的运动来检测前述工件和前述探针的干扰的干扰检测机构；在前述探针的上部以与前述探针一体化的结构设置的凸缘部；以及保持前述探针用的保持器。

另外，前述干扰检测机构被埋入配置在前述保持器内，其一部分从前述保持器的上表面突出，在前述探针与前述工件之间没有干扰时，前述突出部被前述凸缘部推压而埋入到前述保持器内，在前述探针与前述工件之间干扰了时，通过前述探针向上方移动，前述凸缘部也向上方移动，由此，被埋入到前述保持器内的前述突出部复原，检测前述工件与前述探针之间的干扰。

第二个发明的超声波图像装置，其特征在于，配备有：经由液体利用超声波将平面状的工件图像化用的探针；对于前述工件的面使前述探针扫描的扫描机构；以及以非接触的方式检测前述工件与前述探针的接近的干扰检测机构。

对于其它的机构，在实施发明用的方式中进行说明。

发明的效果

根据本发明，在超声波图像装置中，能够检测探针与工件的干扰，抑制这些探针或工件的损伤。