[发明专利]单结晶制造装置及制造方法

权利要求书

1.一种单结晶制造装置，其特征在于，

具备：

结晶提拉机构，所述结晶提拉机构从熔液提拉单结晶；

控制部，所述控制部控制前述结晶提拉机构；

前述结晶提拉机构具备：

马达，所述马达将前述单结晶的提拉轴升降驱动；

减速齿轮，所述减速齿轮连接在前述马达的旋转轴上；

旋转编码器，所述旋转编码器检测前述马达的旋转速度；

位置编码器，所述位置编码器检测前述提拉轴的移动量；

前述控制部根据将前述单结晶的实际的提拉速度与目标提拉速度比较的结果，诊断由前述结晶提拉机构进行的提拉动作的异常的有无，前述单结晶的实际的提拉速度根据前述位置编码器及前述旋转编码器的至少一个的输出信号求出。

2.如权利要求1所述的单结晶制造装置，其特征在于，

前述控制部在根据前述位置编码器的输出信号求出的前述单结晶的提拉速度的第1实测值与前述指示值的偏差比第1阈值大的情况下，诊断出前述位置编码器的异常，并将前述提拉动作中断。

3.如权利要求2所述的单结晶制造装置，其特征在于，

还具备将前述位置编码器的输出信号包含的噪声成分除去的噪声滤波器；

前述控制部使用根据经由前述噪声滤波器得到的前述位置编码器的输出信号求出的前述第1实测值，诊断前述提拉动作的异常的有无。

4.如权利要求1～3中任一项所述的单结晶制造装置，其特征在于，

前述控制部在根据前述旋转编码器的输出信号求出的前述单结晶的提拉速度的第2实测值与前述指示值的偏差比第2阈值大的情况下，诊断出前述马达或前述旋转编码器的异常，并将前述提拉动作中断。

5.如权利要求1～4中任一项所述的单结晶制造装置，其特征在于，

还具备生成与前述目标提拉速度对应的马达驱动信号的马达驱动器；

前述控制部进行由前述马达驱动器的电子齿轮设定带来的调整，并反馈控制前述实际的提拉速度，以使前述实际的提拉速度与前述目标提拉速度的偏差变小。

6.如权利要求1～5中任一项所述的单结晶制造装置，其特征在于，

前述结晶提拉机构还具备：

丝线，所述丝线构成前述提拉轴；

卷取鼓筒，所述卷取鼓筒将前述丝线卷取；

前述卷取鼓筒连接在前述减速齿轮的旋转轴上。

7.一种单结晶制造装置，其特征在于，

具备：

坩埚，所述坩埚支承熔液；

坩埚升降机构，所述坩埚升降机构将前述坩埚升降；

控制部，所述控制部控制前述坩埚升降机构；

前述坩埚升降机构具备：

马达，所述马达将支承前述坩埚的轴杆升降驱动；

减速齿轮，所述减速齿轮连接在前述马达的旋转轴上；

旋转编码器，所述旋转编码器检测前述马达的旋转速度；

位置编码器，所述位置编码器检测前述轴杆的移动量；

前述控制部根据将前述坩埚的实际的升降速度与目标升降速度比较的结果，诊断由前述坩埚升降机构进行的升降动作的异常的有无，前述坩埚的实际的升降速度根据前述位置编码器及前述旋转编码器的至少一个的输出信号求出。

8.一种单结晶的制造方法，其特征在于，

使用权利要求1～7中任一项所述的单结晶制造装置来提拉单结晶。