[发明专利]耐腐蚀保持环

权利要求书

1.一种用于抛光系统的保持环，所述保持环包含：

环形主体，所述环形主体具有顶表面、内径侧壁、外径侧壁和底表面，所述内径侧壁被配置成用于限定基板；其中所述环形主体包含：

刚性环形部分；

聚合物环形部分，所述聚合物环形部分堆叠在所述刚性环形部分上且覆盖所述刚性环形部分的至少三侧；

多个槽，所述多个槽形成在所述底表面中；和

多个排水口，所述多个排水口穿过所述聚合物环形部分形成，其中所述排水口通过所述聚合物环形部分的连续部分而与所述刚性环形部分隔离，所述连续部分由聚合物材料形成。

2.如权利要求1所述的保持环，其中所述排水口相对于所述环形主体的中心线非垂直。

3.如权利要求1所述的保持环，其中所述聚合物环形部分包含：

凸起部分，所述凸起部分延伸至所述刚性环形部分中，所述排水口穿过所述凸起部分形成。

4.如权利要求3所述的保持环，其中所述排水口的内径由所述聚合物环形部分覆盖，所述聚合物环形部分由所述聚合物材料构成。

5.如权利要求1所述的保持环，其中所述刚性环形部分由所述聚合物环形部分完全封装，所述聚合物环形部分由所述聚合物材料构成。

6.如权利要求1所述的保持环，进一步包含：

形成在所述排水口的内径中的聚合物涂层，所述聚合物涂层将所述刚性环形部分与所述排水口隔离，所述聚合物涂层由所述聚合物材料构成。

7.一种用于抛光系统的保持环，所述保持环包含：

环形主体，所述环形主体具有顶表面、内径侧壁、外径侧壁和底表面，所述内径侧壁被配置成用于限定基板；其中所述环形主体包含：

金属环形部分；

聚合物环形部分，所述聚合物环形部分覆盖所述金属环形部分的外部；

多个槽，所述多个槽形成在所述环形主体的所述底表面中；和

多个排水口，所述多个排水口穿过所述聚合物环形部分形成，其中所述排水口通过所述聚合物环形部分的连续部分而与所述金属环形部分隔离，所述连续部分由聚合物材料形成。

8.如权利要求7所述的保持环，其中所述排水口相对于所述环形主体的中心线非垂直。

9.如权利要求7所述的保持环，其中所述聚合物环形部分包含：

凸起部分，所述凸起部分延伸至所述金属环形部分中，所述排水口穿过所述凸起部分形成。

10.如权利要求9所述的保持环，其中所述排水口的内径由所述聚合物环形部分覆盖，所述聚合物环形部分由所述聚合物材料构成。

11.如权利要求7所述的保持环，其中所述金属环形部分由所述聚合物环形部分完全封装，所述聚合物环形部分由所述聚合物材料构成。

12.如权利要求7所述的保持环，进一步包含：

形成在所述排水口的内径中的聚合物涂层，所述聚合物涂层将所述金属环形部分与所述排水口隔离，所述聚合物环形部分由所述聚合物材料构成。

13.如权利要求7所述的保持环，其中所述金属环形部分由不锈钢制成。

14.如权利要求13所述的保持环，其中所述聚合物环形部分由以下至少之一制成：聚苯硫醚(PPS)、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚醚醚酮、和聚对苯二甲酸丁二醇酯。