[发明专利]一种腔式结构的纳米压印模板及其压印成型方法有效
| 申请号： | 201610902369.0 | 申请日： | 2016-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN106371286B | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 王清;张金涛;张睿;郑旭;马立俊;张星远;杜文全 | 申请（专利权）人： | 山东科技大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 青岛智地领创专利代理有限公司 37252 | 代理人： | 毛胜昔 |
| 地址： | 266590 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 结构 纳米 压印 模板 及其 成型 方法 | ||
【权利要求书】：
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