[发明专利]基于微分干涉的光学薄膜缺陷检测方法有效
| 申请号： | 201610905495.1 | 申请日： | 2016-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN106501266B | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 边心田;雷枫 | 申请（专利权）人： | 淮阴师范学院 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京捷诚信通专利事务所(普通合伙) 11221 | 代理人： | 王卫东 |
| 地址： | 223300 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微分干涉 光学薄膜 平面光波 光学薄膜表面 内部缺陷 缺陷检测 准直透镜 出射光 平行 图像 工厂生产线 光电探测器 受外界环境 立体感 反光特性 检测结果 清晰图像 柱状透镜 背景光 上表面 下表面 检测 光栏 入射 光源 成像 分辨 垂直 分析 | ||
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