[发明专利]晶片载具

权利要求书

1.一种晶片容器，其包含：

壳体，其具有内部及外部，所述壳体包含多个扣紧构件，所述多个扣紧构件自所述壳体的底部向外延伸，每个扣紧构件界定存取端口，所述存取端口与所述壳体的内部流体连通；

多个支架，其设置在所述内部中用以容纳基片；

门，其由所述壳体密封地容纳；

底板，其于多个位置连接至所述壳体，且具有多个沿径向对齐的运动槽；以及

多个连接器，所述连接器中的每个耦合至所述多个扣紧构件的对应扣紧构件，并界定大体上环绕所述扣紧构件的穿通端口；

其中所述多个扣紧构件中的每个扣紧构件延伸贯穿所述底板，所述扣紧构件中的每一者包含圆柱体，所述圆柱体具有从所述圆柱体径向向外延伸的销，且

其中每个连接器包含第一端和第二端，所述第一端包含凸缘，以及第二端包含弓形臂，所述弓形臂界定接合所述销的切向槽，所述弓形臂进一步包含凸片，所述凸片平行于所述凸缘径向向外延伸，

其中所述底板在所述凸片和所述凸缘之间被捕获。

2.根据权利要求1所述的晶片容器，其中所述多个连接器为扭锁连接器。

3.根据权利要求1所述的晶片容器，其中所述扣紧构件中的每一者包含角板构件，所述角板构件自所述壳体的底部沿所述扣紧构件的基础部延伸，且其中所述连接器的所述弓形臂与所述扣紧构件的所述角板构件接触。

4.根据权利要求1所述的晶片容器，其中所述扣紧构件内安置有垫圈。