[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体

说明书

本发明提供一种能够发挥优异的物理量检测灵敏度的物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有：基座(21)；被配置在基座(21)上的IC(5)；被配置在IC(5)上的角速度传感器元件(4)以及加速度传感器元件(3)；被配置在IC(5)与角速度传感器元件(4)之间的第一应力缓和层(61)；被配置在IC(5)与加速度传感器元件(3)之间的第二应力缓和层(62)。此外，第一应力缓和层(61)、第二应力缓和层(62)以相互分离的方式而配置。

技术领域

本发明涉及一种物理量传感器、电子设备以及移动体。

背景技术

一直以来，作为物理量传感器，已知有一种如专利文献1中所记载的那样的能够对加速度和角速度进行检测的复合传感器。专利文献1中所记载的物理量传感器具有基板、被支承在基板上的角速度检测元件以及加速度检测元件、对角速度检测元件与基板之间进行连接的连接部、对加速度检测元件与基板之间进行连接的连接部。

但是，在这种结构中，角速度检测元件的驱动振动容易经由基板而传递至加速度检测元件，从而存在加速度检测元件的检测信号中容易产生噪声的问题。

专利文献1：日本特开2014-13207号公报

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能够发挥优异的物理量检测灵敏度的物理量传感器、电子设备以及移动体。

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的发明，其能够作为以下的方式或者应用例而实现。

本应用例所涉及的物理量传感器的特征在于，具有：基座；电路元件，其被配置在所述基座上；第一物理量传感器元件，其被配置在所述基座以及所述电路元件中的至少一方上，并进行驱动振动；第二物理量传感器元件，其被配置在所述基座以及所述电路元件中的至少一方上；以及应力缓和层，所述第一物理量传感器元件以及所述第二物理量传感器元件中的至少一方经由所述应力缓和层而被配置在所述基座以及所述电路元件中的至少一方上。

由此，能够通过应力缓和层来缓和(衰减)第一物理量传感器元件的振动，从而该振动不易传递至第二物理量传感器元件。因此，成为能够发挥优异的物理量检测灵敏度的物理量传感器。

在上述的应用例中，优选为，所述第一物理量传感器元件经由所述应力缓和层而被配置在所述电路元件上。

由此，由于第一物理量传感器元件与电路元件以重叠的方式而配置，因此能够抑制物理量传感器的平面尺寸，从而能够实现物理量传感器的小型化。

在上述的应用例中，优选为，所述第二物理量传感器元件经由所述应力缓和层而被配置在所述电路元件上。

由此，由于第二物理量传感器元件与电路元件以重叠的方式而配置，因此能够抑制物理量传感器的平面尺寸，从而能够实现物理量传感器的小型化。

在上述的应用例中，优选为，所述应力缓和层具有以相互分离的方式而配置的第一应力缓和层与第二应力缓和层，所述第一物理量传感器元件经由所述第一应力缓和层而被配置在所述电路元件上，所述第二物理量传感器元件经由所述第二应力缓和层而被配置在所述电路元件上。

由此，第一物理量传感器元件的振动更不易传递至第二物理量传感器元件。

在上述的应用例中，优选为，所述第一物理量传感器元件经由所述应力缓和层而被配置在所述电路元件上，所述第二物理量传感器元件被配置在所述基座上。

由此，能够使振动的传播路径变长，从而使第一物理量传感器元件的振动更不易传递至第二物理量传感器元件。

在上述的应用例中，优选为，所述应力缓和层具有以相互分离的方式而配置的第一应力缓和层与第二应力缓和层，所述第一物理量传感器元件经由所述第一应力缓和层而被配置在所述电路元件上，所述第二物理量传感器元件经由所述第二应力缓和层而被配置在所述基座上。