[发明专利]一种高温薄膜传感器用抗氧化复合防护层及其制造方法有效
| 申请号： | 201610913940.9 | 申请日： | 2016-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN106498355B | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 蒋洪川;王洪敏;赵晓辉;蒋书文;张万里;刘子良;黄敏;肖瑶 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/58;C23C14/16;C23C14/02;G01D3/08 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 吴姗霖 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高温 薄膜 传感 器用 氧化 复合 防护 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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