[发明专利]非制冷焦平面探测器低温激活薄膜吸气剂及其制备方法有效
| 申请号： | 201610916723.5 | 申请日： | 2016-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN106399951B | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 袁俊;赵鹏;黎秉哲;何雯瑾;信思树;苏玉辉;龚晓霞;普朝光;莫镜辉 | 申请（专利权）人： | 云南北方昆物光电科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/14;H01L31/09;H01L31/0216 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 仇蕾安 |
| 地址： | 650000 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制冷 平面 探测器 低温 激活 薄膜 吸气 及其 制备 方法 | ||
【说明书】：
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