[发明专利]含氟蚀刻废液生产氟化氢铵的方法有效
申请号: | 201610916853.9 | 申请日: | 2016-10-21 |
公开(公告)号: | CN106517244B | 公开(公告)日: | 2018-06-15 |
发明(设计)人: | 陈建敏;赵红林 | 申请(专利权)人: | 昆明培铭科技有限公司 |
主分类号: | C01C1/16 | 分类号: | C01C1/16;B01D29/085 |
代理公司: | 济南旌励知识产权代理事务所(普通合伙) 31310 | 代理人: | 牛传凯 |
地址: | 650500 云南省昆明市五华区学府*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 氟化氢铵 蚀刻废液 废液 含氟 反应釜 氢氟酸 除杂 氨气 过滤器 硫酸根离子 硝酸根离子 除杂处理 除杂装置 二次利用 含氟废液 回收处理 氯离子 再加热 烘干 滤渣 排出 液氨 洗涤 蒸发 回收 生产 污染 | ||
【权利要求书】:
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