[发明专利]用于将成像工具放置在测试和测量工具中的系统和方法有效
| 申请号： | 201610922537.2 | 申请日： | 2016-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN106546792B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | P·A·林斯拉;C·N·休伯;D·N·基尔斯利 | 申请（专利权）人： | 弗兰克公司 |
| 主分类号： | G01R15/12 | 分类号： | G01R15/12;G01R1/04;G01J5/12;G01J5/28;G01J5/04;G01J5/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周学斌;张涛 |
| 地址： | 美国华*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 成像 工具 放置 测试 测量 中的 系统 方法 | ||
【说明书】：
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