[发明专利]一种生长在LiGaO2衬底上的非极性GaN纳米柱及其制备方法有效
申请号: | 201610925721.2 | 申请日: | 2016-10-24 |
公开(公告)号: | CN106531851B | 公开(公告)日: | 2018-09-14 |
发明(设计)人: | 李国强;王海燕;林志霆 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/02;H01L33/12;H01L33/06 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 何淑珍 |
地址: | 510640 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 生长 ligao2 衬底 极性 gan 纳米 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】:
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