[发明专利]一种基于数据采集卡的多振幅交流偏置探针等离子体诊断方法在审
| 申请号： | 201610925891.0 | 申请日： | 2016-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN106413237A | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 陆文琪;白玉静;徐军 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心21200 | 代理人： | 梅洪玉 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 数据 采集 振幅 交流 偏置 探针 等离子体 诊断 方法 | ||
【说明书】：
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