[发明专利]一种双脉冲碰撞等离子体极紫外光刻光源产生装置在审
| 申请号： | 201610931200.8 | 申请日： | 2016-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN106444295A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 李博文;陈熙萌 | 申请（专利权）人： | 兰州大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 刘洪京 |
| 地址： | 730000 甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 脉冲 碰撞 等离子体 紫外 光刻 光源 产生 装置 | ||
【说明书】：
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