[发明专利]一种碱溶性树脂聚合物、其制备方法和感光性树脂组合物及它们的应用

权利要求书

1.一种碱溶性树脂聚合物，其特征在于，该碱溶性树脂聚合物为含有第一结构单元和第二结构单元的无规共聚物；

所述第一结构单元衍生自第一单体，所述第一单体为选自不饱和羧酸化合物、不饱和酸酐化合物和不饱和羧酸衍生物中的至少一种；

所述第二结构单元具有式（1）所示的结构：

式（1）；

其中，R₁、R₂和R₃各自独立地为氢原子、碳原子数为1-5的直链烷基、碳原子数为3-5的支链烷基或碳原子数为3-5的环烷基，R₂和R₃不同时为氢原子；

所述碱溶性树脂聚合物的重均分子量M_w为1000-250000，所述第一结构单元和所述第二结构单元的摩尔含量之比为1：（0.1-5）。

2.根据权利要求1所述的碱溶性树脂聚合物，其特征在于，所述碳原子数为1-5的直链烷基为选自甲基、乙基、正丙基、正丁基和戊基中的至少一种；所述碳原子数为3-5的支链烷基为选自异丙基、异丁基、仲丁基、叔丁基、异戊基、新戊基、2-甲基亚丙基和2-甲基亚丁基中的至少一种；所述碳原子数为3-5的环烷基为选自环丙基、环丁基和环戊基中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的碱溶性树脂聚合物，其特征在于，R₁为选自氢原子、甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、戊基、异戊基、新戊基、环丙基和环丁基中的至少一种，R₂和R₃各自独立地为氢原子、甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、2-甲基亚丙基和2-甲基亚丁基中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的碱溶性树脂聚合物，其特征在于，R₂为氢原子，R₃为甲基；或者，R₂为甲基，R₃为氢原子。

5.根据权利要求1所述的碱溶性树脂聚合物，其特征在于，所述第二结构单元为式（2）-式（7）所示的结构中的一种：

式（2）式（3）式（4）式（5）式（6）式（7）。

6.根据权利要求1所述的碱溶性树脂聚合物，其特征在于，所述第一结构单元为选自如下式（8）-式（19）所示结构中的至少一种：

式（8）式（9）式（10）式（11）式（12）式（13）式（14）

式（15）式（16）式（17）式（18）式（19）。

7.根据权利要求1所述的碱溶性树脂聚合物，其特征在于，所述第一结构单元和所述第二结构单元的摩尔含量之比为1：（0.5-2.5）；

所述碱溶性树脂聚合物的重均分子量M_w为5000-100000，所述碱溶性树脂聚合物的重均分子量M_w与数均分子量M_n之比M_w/M_n为1.0-4.5。

8.根据权利要求1所述的碱溶性树脂聚合物，其特征在于，该碱溶性树脂聚合物还含有第三结构单元，所述第三结构单元衍生自第三单体，所述第三单体为N取代马来酰亚胺化合物、不饱和羧酸酯化合物和烯烃化合物中的至少一种。

9.根据权利要求8所述的碱溶性树脂聚合物，其特征在于，所述第一结构单元和所述第三结构单元的摩尔含量之比为1：（0.2-5）。