[发明专利]使用连接的室自动更换消耗部件

权利要求书

1.一种设置在用于处理衬底的群集工具组件内的装载锁室，所述群集工具组件具有大气传送模块、真空传送模块以及处理模块，所述装载锁室布置在所述大气传送模块和所述真空传送模块之间，所述装载锁室包含：

具有多个指状物组件的支撑机构，所述多个指状物组件中的每一个包括顶部支撑指状物和底部支撑指状物，所述顶部支撑指状物和所述底部支撑指状物具有第一端和第二端，所述底部支撑指状物的顶表面包括邻近所述第二端并且在所述第一端和所述第二端之间限定的凹部；

设置在所述第一端的在所述顶部支撑指状物和所述底部支撑指状物之间的第一间隔块，

设置在所述第一端的在所述底部支撑指状物下面的第二间隔块；

衬底接触垫被设置在邻近所述顶部支撑指状物和所述底部支撑指状物的前端的所述第二端处在所述顶部支撑指状物和所述底部支撑指状物的顶表面上；以及

消耗品接触垫被设置在所述凹部内，所述消耗品接触垫被设置在所述底部支撑指状物内的所述衬底接触垫和所述底部支撑指状物的所述第一端之间，

其中，所述多个指状物组件被设置成使用所述消耗品接触垫运送消耗部件以及使用所述衬底接触垫运送衬底。

2.根据权利要求1所述的装载锁室，其中所述消耗品接触垫设置在所述衬底的直径的外侧。

3.根据权利要求1所述的装载锁室，其中所述衬底接触垫设置在所述衬底的直径的内侧。

4.根据权利要求1所述的装载锁室，其还包括设置在所述底部支撑指状物的所述凹部内的邻近于所述消耗品接触垫并且在所述消耗品接触垫和所述底部支撑指状物的所述第一端之间的第二消耗品接触垫。

5.根据权利要求4所述的装载锁室，其中所述第二消耗品接触垫设置在所述衬底的直径的外侧。

6.根据权利要求1所述的装载锁室，其中所述消耗品接触垫和所述衬底接触垫由弹性体材料制成。

7.根据权利要求1所述的装载锁室，其中所述装载锁室被布置在所述大气传送模块和所述真空传送模块之间，所述装载锁室提供介于所述大气传送模块和所述真空传送模块之间的接口。

8.一种具有大气传送模块、真空传送模块、装载锁室以及处理模块的群集工具组件，所述群集工具组件包含：

具有第一机械手的所述大气传送模块；

耦合到所述大气传送模块的第一侧的更换站，所述更换站具有部件缓冲区，所述部件缓冲区带有用于存储新的或使用过的消耗部件的多个隔室；

耦合到所述大气传送模块的第二侧和所述真空传送模块的第一侧的装载锁室，所述装载锁室提供介于所述大气传送模块和所述真空传送模块之间的接口；以及

其中所述第一机械手包括第一端部执行器机构，所述第一机械手的所述第一端部执行器机构包括，

腕状板；

连接到所述腕状板的安装臂架；

指状物组件，其被安装到所述安装臂架并包括从所述安装臂架向外延伸的成对的指状物，所述指状物组件具有邻近所述安装臂架的近端以及限定在所述成对的指状物的前端处的远端；

第一载体接触垫，其设置在所述指状物组件的顶表面上的邻近通过所述成对的指状物限定的叉的中心；以及

第二成对的载体接触垫，其设置在所述指状物组件的所述顶表面上并邻近所述指状物组件的所述远端定位，

其中所述指状物组件被配置成使用所述第一载体接触垫和所述第二成对的载体接触垫输送衬底和支撑载体板，其中，所述载体板被配置为支撑消耗部件。

9.根据权利要求8所述的群集工具组件，其中所述载体板的形状是三角形，所述载体板包括消耗品接触垫，所述消耗品接触垫设置在所述载体板的每个顶点处，使得设置在每个顶点的所述消耗品接触垫与所述载体板的中心的距离在所述衬底的半径的外侧。

10.根据权利要求8所述的群集工具组件，其中所述更换站包括用于存储所述载体板的壳体。