[发明专利]一种照明装置有效
申请号: | 201610932743.1 | 申请日: | 2016-10-31 |
公开(公告)号: | CN108020994B | 公开(公告)日: | 2020-01-24 |
发明(设计)人: | 田毅强 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 照明 装置 | ||
1.一种照明装置,其特征在于,包括:沿光传播方向设置的LED光能发生单元、光束积分匀光单元和光束中继传递单元;其中,所述LED光能发生单元包括多组LED光源组件和汇聚镜组,多组所述LED光源组件沿光轴旋转对称分布,且每组所述LED光源组件均可沿所述光轴径向移动,所述汇聚镜组的物面位于所述LED光源组件的出光端,所述LED光源组件沿所述光轴径向移动以及所述LED光源组件发出的光束经过所述光束积分匀光单元均使得照明的相干因子得到改变;多组所述LED光源组件发出的光束波长相同或不同,当多组所述LED光源组件发出的光束波长不同时,所述汇聚镜组使得不同波长的光束耦合在一起;且所述LED光源组件在照明系统的光瞳面上形成可改变相干因子的多极照明,所述汇聚镜组将所述多极照明汇聚到所述光束积分匀光单元以形成均匀照明视场,并通过所述光束中继传递单元将所述均匀照明视场放大后形成均匀性满足要求的多波长的多极照明视场。
2.如权利要求1所述的一种照明装置,其特征在于,所述LED光源组件包括LED光源和光束准直器件,LED光源发出的光束经所述光束准直器件准直后投射到所述汇聚镜组。
3.如权利要求2所述的一种照明装置,其特征在于,所述光束准直器件采用离轴抛物面反射镜,所述LED光源放置于离轴抛物面反射镜的焦点位置。
4.如权利要求2所述的一种照明装置,其特征在于,所述LED光源的辐射角分布为朗伯分布。
5.如权利要求2所述的一种照明装置,其特征在于,所述LED光源为单个光源或者LED光源阵列。
6.如权利要求1所述的一种照明装置,其特征在于,所述光束积分匀光单元采用匀光积分棒,所述匀光积分棒位于所述汇聚镜组的像面上。
7.如权利要求6所述的一种照明装置,其特征在于,所述光束中继传递单元采用中继镜组,所述中继镜组的物面位于匀光积分棒的出光面。
8.如权利要求1所述的一种照明装置,其特征在于,所述LED光源组件设置有四组,四组所述LED光源组件沿光轴旋转对称分布。
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