[发明专利]一种碱溶性树脂聚合物、其制备方法和感光性树脂组合物

权利要求书

1.一种碱溶性树脂聚合物，其特征在于，该碱溶性树脂聚合物为含有第一结构单元、第二结构单元和第三结构单元的共聚物；

所述第一结构单元具有式(1)所示的结构：

其中，R₁为氢原子、碳原子数为1-5的直链烷基、碳原子数为3-5的支链烷基或碳原子数为3-5的环烷基，R₂为单键、碳原子数为1-5的直链亚烷基或碳原子数为3-5的支链亚烷基，X为氧原子、氮原子或硫原子，n为1-5的整数；

所述第二结构单元衍生自第二单体，所述第二单体为选自不饱和羧酸化合物、不饱和酸酐化合物和不饱和羧酸衍生物中的至少一种；

所述第三结构单元衍生自第三单体，所述第三单体包括N-取代马来酰亚胺化合物；

所述碱溶性树脂聚合物的重均分子量M_w为5000-50000，所述第一结构单元和所述第二结构单元和所述第三结构单元的摩尔含量之比为1：(0.3-3.3)：(0.2-5)。

2.根据权利要求1所述的碱溶性树脂聚合物，其特征在于，所述碳原子数为1-5的直链烷基为选自甲基、乙基、正丙基、正丁基和戊基中的至少一种；所述碳原子数为3-5的支链烷基为选自异丙基、异丁基、仲丁基、叔丁基、异戊基、新戊基、2-甲基亚丙基和2-甲基亚丁基中的至少一种；所述碳原子数为3-5的环烷基为选自环丙基、环丁基和环戊基中的至少一种；

所述碳原子数为1-5的直链亚烷基为选自亚甲基、亚乙基、亚丙基、亚丁基、亚戊基中的至少一种；所述碳原子数为3-5的支链亚烷基为2-甲基亚丙基或2-甲基亚丁基。

3.根据权利要求1所述的碱溶性树脂聚合物，其特征在于，R₁为氢原子或甲基，R₂为单键、亚甲基、亚乙基和亚丙基中的至少一种，X为氧原子。

4.根据权利要求1所述的碱溶性树脂聚合物，其特征在于，所述第一结构单元为式(2)-式(9)所示的结构中的一种：

5.根据权利要求1所述的碱溶性树脂聚合物，其特征在于，所述第二结构单元为选自如下式(10)-式(19)所示结构中的至少一种：

6.根据权利要求1所述的碱溶性树脂聚合物，其特征在于，所述第一结构单元和所述第二结构单元的摩尔含量之比为1：(0.5-2.5)；所述碱溶性树脂聚合物的重均分子量M_w为10000-50000，所述碱溶性树脂聚合物的重均分子量M_w与数均分子量M_n之比M_w/M_n为1.0-4.5。

7.根据权利要求1所述的碱溶性树脂聚合物，其特征在于，所述第三单体还包括选自不饱和酰胺化合物、不饱和羧酸酯化合物和烯烃化合物中的至少一种。

8.根据权利要求1所述的碱溶性树脂聚合物，其特征在于，所述第三单体为选自N-苯基马来酰亚胺、N-苄基马来酰亚胺、N-对羟基苯基马来酰亚胺和N-环己基马来酰亚胺中的至少一种。

9.根据权利要求1所述的碱溶性树脂聚合物，其特征在于，所述第三单体还包括选自丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、马来酰胺、α-氯丙烯酰胺、N-羟乙基丙烯酰胺、N-羟乙基甲基丙烯酰胺、苯乙烯、α-甲基苯乙烯、氯乙烯、甲氧基苯乙烯、邻乙烯基苯酚、对乙烯基苯酚、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸丙酯、甲基丙烯酸丙酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苄酯、丙烯酸2-羟乙酯、甲基丙烯酸2-羟乙酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸十二烷基酯、甲基丙烯酸异冰片酯和甲基丙烯酸十六烷基酯中的至少一种。